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북경시 조양구 주선교로 14호 조유빌딩 6층 616실
제품 카테고리
북경아과천욱과학기술유한회사
개요
주요 기술 매개 변수:
제품 정보
제품 소개:
ULVAC ei-5z시리즈 고진공 증발 도금 설비는 전자빔 증발과 열 증발 발원을 동시에 설치할 수 있는 다기능 증발대로, 각종 금속, 합금, 비금속 증발 도금에 사용할 수 있으며, 수직 입사 증발 공예를 할 수 있고, 천벽식 설계를 할 수 있으며, 전자동 제어를 채용하여 안정적이고 효율적이다.
주요 기술 매개 변수:
· 2-8inch의 다양한 형태의 Si, GaAs, 유리 세라믹 등 기판에 적용;
· 저고도 펌프를 사용하여 20min 이내에 3.0 * 10에 도달-4Pa，극한 압력 도달 가능3.0*10-5Pa 이하；
· 전자빔 또는 열증발원을 사용하여 베젤을 공용한다;
· 막두께의 균일성은 ±5% 보다 좋다;
