Camtek EagleT-AP 자동 광학 검사
【제품 소개】
Camtek EagleT-AP는 첨단 패키지를 위해 특별히 설계된 2D/3D 고정밀 자동 광학 검사 장비로, 2D 검사 정밀도 0.2um, 3D 검사 고도 정밀도 0.05um(측정 범위 2~100um)이다.
【주요 응용】
· 차세대탐지 엔진
· 차세대 카메라
· 신형 첨단 신호 전송 채널
· 특수 LED 조명
· CAD 기반 체크
· 에서각 웨이퍼에 측정된 엄청난 양의차세대 2um으로 다운그레이드 bump볼록점 (5천만 개)
· Bump 치수 및 표면 체크
· RDL 크기 및 높이 측정