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주소
북경시 조양구 주선교로 14호 조유빌딩 6층 616실
제품 카테고리
북경아과천욱과학기술유한회사
개요
Nordson Sonoscan AW300 초음파 검사 현미경
제품 정보
【제품 소개】
AWTM시리즈 제품은 웨이퍼 검사를 위한 전자동 시스템을 전문적으로 설계한 것이다.다양한 결합 웨이퍼(SOI, MEMS, LED, 2.5D 및 3D)의 감지 분석에 적합하며 매우 높은 감도와 생산 능력을 제공합니다.AW 시리즈는 두 칩 사이의 지름이 5마이크로미터 미만인 구멍과 칩 사이의 200에이치처럼 얇은 탈층을 감지할 수 있다.AW에는 두 개 이상의 스캔 헤드, 버퍼 테이블, 건조실이 있습니다.두 개의 웨이퍼를 동시에 스캔하고 스캔을 완료한 웨이퍼를 동시에 건조하여 생산 능력을 향상시킬 수 있습니다.
[주요 특징】
·Quantitative Dynamic ZTM동적 Z 기능 계량화 - 플랫하지 않은 웨이퍼에 초점 맞추기
· SECS-II/GEM/SEMI300mm 표준호환
· 100mm~300mm의 웨이퍼를 전자동 감지
· 폭포식 프로브는 비침포 스캐닝을 제공한다
· 업계 최고의 이미지 분석 기능
· BOLTS 표준 인터페이스는 FOUPs, SMIF Pod, FOSB 및 개방형 칩셋용
· 자체 공급 및 진공 흡입 구성 요소 (옵션)
