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주소
북경시 조양구 주선교로 14호 조유빌딩 6층 616실
제품 카테고리
북경아과천욱과학기술유한회사
개요
CentroTherm OXIDTOR150 고온 산화로
제품 정보
【제품 소개】
centrothermc.OXIDATOR 150은 일종의 고온로로서 상선창회사의 열해결방안이 탄화규소 (SiC) 의 산화를 위해 전문적으로 설계한것이다.
공정 온도 최대 1500℃, 산소 사용(O)2), 아산화질소(N2O）、산화질소(NO), 이산화질소(NO)2) 또는 습법으로 산화하여 유연성과 입증된 공정의 품질을 완벽하게 결합시킨다.무금속 가열 및 이중 진공 장비를 갖추고 있으며, c.OXIDATOR 150은 현재 시장에서 가장 안전하고 유독가스를 사용할 수 있는 산화로이다.
【적용 공정】
· 산화
【제품의 장점】
· 2인치, 3인치, 4인치 및 6인치 웨이퍼 또는 조합된 대량 가공
· 최고 가열 속도 7.5도/분
· 최대 50매 (150mm) 웨이퍼 대량
· 가공 압력 범위는 850mbar에서 대기압까지
