- 이메일
- 전화
-
주소
북경시 조양구 주선교로 14호 조유빌딩 6층 616실
제품 카테고리
북경아과천욱과학기술유한회사
개요
CentroTherm ACTIVATOR150 활성로
제품 정보
【제품 소개】
centrothermc.ACTIVATOR 150 고온로 생산라인, 탄화규소(SiC) 또는 질화갈륨(Gan) 부품에 사용되는 이온 주입 후 퇴화 c.ACTIVATOR 150은 연구개발 및 계열 생산 가열로로 사용할 수 있는 다양한 버전으로 공정 유연성이 높다.상선창회사의 유일무이한 무금속가열설계는 가공온도를 2000°C로 높이고 가공주기시간을 단축시켰다.c.ACTIVATOR 150은 설치 공간이 작고 소유 비용이 낮기 때문에 생산의 비용 효율성을 높이는 데 도움이 됩니다.
【적용 공정】
· GaN과 SiC 웨이퍼의 퇴화
· 그래핀의 성장
【제품의 장점】
· 활성화 효율이 높다
· 최대 2000 ℃ 의 공정 온도 안정
· 2-6인치 웨이퍼 지원
· 5-50개의 웨이퍼를 대량 처리 가능
· 가열속도 최대 100K/min
