시스템 레벨 정밀도 레이저 자

미드맵 기기 PLR3000 시리즈시스템 레벨 정밀도 레이저 자레이저 간섭 핵심 기술 + 하드코어 데이터 지지로 해상도는 10nm, 선형 정밀도는 0.2ppm에 달하며 복잡한 산업 장면에 정확하고 신뢰할 수 있는 위치 피드백과 제어를 제공한다.초정밀가공, 마이크로전자제조, 광각기술, 항공우주 등 요구가 높은 분야에서 광범위하게 응용된다.

전통적인 강철띠자나 유리울타리에 비해 광섬유레이자자는 더욱 정확한 울타리거리와 더욱 높은 해상도를 갖고있으며 동시에 그 열원격리설계는 더욱 높은 안정성을 보장하고 설치가 빠르고 쉽게 정확해지는 등 특징을 갖고있다.

1. 핵심 데이터

1. 정밀도 천장

10nm 고해상도 (외부 확장 지원), PRO 버전의 선형 정밀도는 0.2ppm (일반판 0.5ppm) 에 달하고, 안정 주파수 정밀도는 0.02ppm으로 낮으며, 4m 측정 거리 오차가 0.8μm에 불과한 것과 같으며, 나노급 생산 검측 수요를 만족시킨다;

2.전체 장면이 잘 어울린다

최대 양정 4m (수요에 따라 확장 가능), 동적 측정 속도 2m/s 지원, 정적 실험실 검측부터 고속 생산라인 연동까지 전 장면을 커버한다;

3.환경 방해 방지

일체형 환경기상관측소는 온도(10-40 ℃), 기압(650-1150mbar), 습도(0-95% 무응고) 영향을 실시간으로 보상하며, 실측은 -10 ℃~45 ℃ 작업 상황에서 데이터 안정성은 여전히 ±0.1ppm 이내를 유지한다.

4. 유연한 설치 설계

레이저 본체(2.8Kg)와 프로브(460~500g) 분리, 3m 갑옷 광섬유 연결(사용자 정의 가능한 길이), 좁은 공간 설치 무압력, 아베오차 60% 이상 감소.

3. 핵심우세

1.정밀도 연마 전통 방안

그리드 거리 정밀도는 유리 래스터의 3배, 해상도는 강철 테이프 자보다 100배 높으며, 환경 적응성은 기존 설비가 대응할 수 없는 작업 상황을 커버한다;

2.유연한 사용자 정의 문턱 없음

단/쌍/삼축 출력을 지원하며 차분/평면경/각추 프리즘 프로브 (최고해상도 0.5nm) 를 선택할 수 있으며 양정, 케이블 길이를 모두 사용자 정의할 수 있으며 90% 이상의 복잡한 장면에 적합합니다.

3. 설치 비용 절감

크기가 작고 (프로브는 손바닥 크기만) 정확한 조정 각도가 ± 1.5 ° 에 달하며 설치 디버깅 시간이 50% 단축되어 전문 기술팀 없이 배치를 완료할 수 있습니다.

4. 이중 사용 가치

PLR3000 시리즈시스템 레벨 정밀도 레이저 자독립적인 레이저 간섭기로 측정할 수도 있고, 시스템에 접속하여 폐쇄 루프 위치 피드백 제어를 실현할 수도 있으며, 한 대의 설비가 다중 수요를 만족시킬 수도 있다.

4. 응용사례

1.반도체 제조: 광각기 웨이퍼 정밀 위치, 정밀 부품대 폐쇄 루프 피드백, 조력 칩 제조 양률 향상

2.항공우주: 엔진 날개형 변형 검측, 고정밀 조립 교정, 핵심 부품의 신뢰성 보장

3.정밀 가공: 디지털 제어 선반 다축 연동 위치 피드백, 마이크로 기계 소자 측정, 가공 정밀도와 효율 향상

4.과학 연구 분야: 광학 플랫폼 안정성 모니터링, 초정밀 실험 설비 제어, 최첨단 연구 데이터 정확도 지탱

주: 제품 매개 변수는 기술 반복에 따라 최적화될 것이며, 관련 내용은 실시간으로 업데이트될 수 있습니다. 별도로 통지하지 않을 수 있습니다. 양해해 주십시오.

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