중진공 ~ 초고진공 단진공계

트리곤™ BAG552중진공 ~ 초고진공 단진공계

독립적인 열이온 게이지 기술이 필요한 경우Trigon™ 시리즈에는 단일 기술을 적용한 Bayard-Alpert 열전리 게이지 BAG552가 포함되어 있습니다.BAG552 압력 범위 5x10 전용-10... 2 x 10-2밀리바 가스 진공 측정으로 설계되었습니다.뛰어난 정밀도, 반복성 및 수명을 제공하는 듀얼 필라멘트 지원BAG552는 INFICON 진공계 컨트롤러 제품군에도 사용 가능VGC 501、VGC 502화VGC 503함께 사용하다.

이점:

• 1. 순수한 Bayard-Alpert 측정 시스템, 초고압 및 고압 측정 범위에 적용

• 2. 이중 필라멘트 디자인

• 3. 전기격리전자설비, 잡산전류 피하기

• 4. 슬라이딩 발사 모드, 발사 흐름을 전환할 때 압력 점프와 동결 현상이 나타나지 않도록 한다

• 5. 이동식 교정 데이터 칩, 구이 시간 연장

• 6, 정점 계전기 설치

• 7. 밝은 대화면 OLED 디스플레이(90 ° 회전 가능), 사용자 인터페이스 포함

• 8, 아날로그 출력, RS232C 직렬 인터페이스,EtherCAT® 인터페이스

• 9. VGC50x 컨트롤러 제품군과 함께 사용 가능

• 10. RoHS 준수

• 일반적인 애플리케이션:

• 1. 반도체 공정에서의 압력 측정

• 2. 공업도금막

• 3. 고진공 ~ 초고진공 범위 내 시스템의 일반 진공 측정 및 제어

•