품질 트래픽 컨트롤러

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개요

품질 트래픽 컨트롤러 V 시리즈 MFC는 기체의 품질 트래픽을 정확하게 제어하기 위한 장비로, MFC는 ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP 등 반도체 전면 공정에 응용할 수 있을 뿐만 아니라 태양광 에너지, 진공 도금 등 분야에서도 상당한 시장이 있다.$r$nMFC는 가스 흐름의 정확한 제어를 통해 더 높은 양률을 효과적으로 제공합니다.

제품 정보

품질 트래픽 컨트롤러V 시리즈 MFC

품질 트래픽 컨트롤러VG80 시리즈 MFC는 가스 품질 트래픽을 제어하기 위한 부품으로 다음과 같은 특징을 가지고 있다1：

디자인 dute:"이중 밸브 + 압력 강하 + 위치 감지"의 dute 설계를 사용합니다.
성능 youyue: 빠른 응답 속도, 시작 및 정지 시간 ≤ 100ms; ± 0.5% S.P.의 높은 측정 정밀도;측정 거리 너비, 2 - 100% F.S.;자가 진단 기능과 낮은 유지 관리 비용

장면을 적용하려면 다음과 같이 하십시오.MFC는 ETCH, PVD, ALD, MOCVD, IMP 등 반도체 전면 공정에 적용될 수 있을 뿐만 아니라 태양광 에너지, 진공 도금 등 분야에서도 상당한 시장이 있다.MFC는 가스 흐름의 정확한 제어를 통해 더 높은 양률을 효과적으로 제공합니다.

이 제품군은 반도체 제조에서 etch(각식), CVD(화학기상침적), PVD(물리기상침적), ALD(원자층침적), MOCVD(금속유기화학기상침적) 등 공정장비에 널리 활용될 수 있으며 MPCVD(미파파 등 이온화학기상침적), 해열해동건조, 석영정제, 의료처리폐기물 등에도 적용된다.

质量流量控制器

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