ATM에서 초고진공 TripleGauge®까지;

Trigon™ BCG552ATM - 초고진공 TripleGauge®

TripleGauge® BCG552는 센서 플랜지에 3개의 진공 감지 소자를 통합했다.이 새로운 TrigonTM 시리즈의 플래그십 제품은 UHV (5 x 10) 에서 매우 넓은 측정 범위를 가지고 있습니다.-10ATM(1500mbar)으로 이동합니다.ATM 센서가 추가되어 BCG552는 압차 측정에 사용되며 여러 응용 프로그램에서 진공 스위치로 사용됩니다.지원되는 Bayard-Alpert 듀얼 필라멘트는 UHV 및 HV 범위에서 뛰어난 정밀도, 반복성 및 수명을 제공하며, 소형 커패시터 분리막 진공계는 ATM 범위에서 뛰어난 정밀도를 제공하며 가스 유형의 영향을 받지 않습니다.

이점:

• 1, 3 + 1 센싱 컴포넌트, 측정 범위가 매우 넓어 비용 절감, 공간 절약

• 2. 이중 필라멘트 디자인

• 3. 기체 유형에 독립된 압력 측정 (10 토막 이상) 은 모든 혼합 기체에 더욱 신뢰할 수 있는 부하 잠금 제어를 제공한다.

• 4. 압차 측정은 대기 압력 변화와 관련된 불확실성을 제거한다

• 5. 자동 고진공 피라니 조절로 운영자의 개입 감소

• 6. 전기격리전자부품은 잡산전류를 피면할수 있다

• 7. 배출 흐름을 전환할 때 압력 점프와 동결 현상이 나타나지 않도록 미끄럼 배출 모드

• 8, 정점 계전기 설치

• 9. 밝은 대화면 OLED 디스플레이(90 ° 회전 가능), 사용자 인터페이스 포함

• 10, 아날로그 출력, RS232C 직렬 인터페이스,EtherCAT® 인터페이스

• 11. VGC50x 컨트롤러 제품군과 함께 사용 가능

• 12, TripleGauge와의 역방향 호환® BCG450

• 13. RoHS 준수

일반적인 애플리케이션:

• 1. 반도체 공정, 전송 및 부하 잠금실에서의 압력 측정

• 2. 공업도금막

• 3. 저진공 ~ 초고진공 범위 내 시스템의 일반 진공 측정 및 제어

•