세계 각국은 모두 자체 규격을 가지고 있지만, 보편적으로 미국 연방정부가 반포한 표준[FederalStandard(FS) 209E, 1992]에 의거하여 무진실을 6급으로 나눌 수 있다
세계 각국은 모두 자체 규격을 가지고 있지만, 보편적으로 미국 연방정부가 반포한 표준"Federal Standard (FS) 209E, 1992"에 따라 무진실을 6급으로 나눌 수 있다.각각 1등급, 10등급, 100등급, 1000등급, 10000등급, 100000등급이다. 만약 무진실의 등급이 먼지의 수량으로만 서술된다면 먼지의 크기를 0.5μm로 가정할 수 있다. 예를 들어 1등급, 10등급, 100등급 무진실의 최대 먼지의 수량은 각각 1개, 10개, 100개보다 작거나 같으며 먼지의 크기가 0.5μm가 아니라면 무진실의 등급은 특정한 입자의 크기로 표시해야 한다.예를 들어, 10 레벨은 0.2 μm (먼지 크기는 0.2 μm 이상, 밀도는 75 개/입방 피트 미만), 1 레벨은 0.1 μm (먼지 크기는 0.1 μm 이상, 밀도는 35 개/입방 피트 미만) 입니다.
1.기류 속도 및 균일도 검측,이 검측은 무진실 효과의 기타 각 항목의 검측의 전제이다.이 검측의 목적은 단방향 흐름 무진실 작업구역의 평균 기류 통도와 그 균일성을 명확히 하기 위한 것이다.
2. 시스템이나 방의 풍량 측정.
3.실내 청결도 검사.청정도 측정은 청정 환경이 도달할 수 있는 공기 청정도 수준을 정하기 위한 것으로, 입자 카운터로 측정할 수 있다.
4. 자정시간의 측정.자정시간을 확정함으로써 클린룸 내부에 오염이 발생했을 때 원래의 청정도를 회복할 수 있는 능력을 규명한다.
5.기류 흐름형 검사.
6. 소음의 측정.
7.조도의 검측.조도 검사의 목적은 청결실의 조도 수준과 조도의 균일성을 판별하기 위한 것이다.
8.진동의 검측.진동 측정의 목적은 무진실이 각각 나타내는 진동 폭을 판명하기 위한 것이다.
9.온도, 습도 측정.온도, 습도 측정의 목적은 온도, 습도를 일정 한도 내로 조절하는 능력이다.그 내용에는 무진실의 송풍온도를 검측하고 대표적인 측정점이 있는 공기온도를 검측하며 무진실 중심점의 공기온도를 검측하고 민감한 부품처의 공기도를 검측하며 실내공기의 상대온도를 검측하고 회풍온도를 검측하는 내용이 포함된다.
