칠성화창 품질 유량 컨트롤러 유량계

칠성화창 품질 유량 컨트롤러 유량계

품질 트래픽 컨트롤러 및 품질 유량계 사용 설명서 1.주의사항을 사용하여 존경하는 사용자, 당사가 생산한 D07 시리즈 품질 유량 컨트롤러/품질 유량계 제품을 구매해 주셔서 감사합니다.이 설명서에서는 제품군의 정확하고 안전한 사용에 필요한 사항을 자세히 설명합니다.제품 사용자는 이 설명서를 반드시 참고하여 이해한 후 사용하십시오. 사용 과정에서 표지가 있는 문자와 주의사항에 포함된 모든 내용을 주의하십시오.사용수첩에 따라 사용하지 않아 초래된 재산손실 또는 인신상해에 대하여 본사는 책임을 지지 않을 권리가 있다.이 설명서는 설치, 유지 보수 및 고장 수리 시 보관해 두십시오.2. 용도 및 특징 질량유량계(Mass Flow Meter 약자는 MFM)는 기체의 질량유량을 정밀하게 측정하는 데 사용된다.질량 유량 컨트롤러(Mass Flow Controller는 MFC로 약칭)는 가스의 질량 유량을 정밀하게 측정하고 제어하는 데 사용됩니다.그들은 반도체 마이크로전자 공업, 특수 재료 연구 제작, 화학 공업, 석유 공업, 의약, 환경 보호 및 진공 등 다양한 분야의 과학 연구와 생산에서 중요한 응용을 가지고 있다.그 전형적인 응용 장소는 확산, 산화, 외연, 전자 공예 설비를 포함한다.CVD、플라스마 부식, 사출, 이온 주입;그리고 진공도금설비, 광섬유정련, 미반응장치, 혼합가스배기시스템, 모세관측정, 기상크로마토그래프 및 기타 분석기구.D07 시리즈 품질 유량 컨트롤러와 품질 유량계는 정밀도가 높고 중복성이 좋으며 응답 속도가 빠르고 소프트 부팅, 안정적이고 신뢰할 수 있으며 작업 압력 범위가 넓어 (고압 또는 진공 조건에서 작동할 수 있음) 조작과 사용이 편리하고 임의의 위치에 설치할 수 있으며 컴퓨터와 연결하여 자동 제어를 실현할 수 있다.D07 시리즈 품질 유량 컨트롤러 및 품질 유량계는 일반적으로 D08 시리즈 유량 표시기와 같은 제품과 함께 사용되며 컨트롤러와 표시기 사이에는 전용 케이블로 연결됩니다.

칠성화창 품질 유량 컨트롤러 유량계

3. 주요 기술 지표표 1.D07-19B 타입 MFC 성능 지표 번호 항목 D07-19B1 트래픽 사양(0~5,10,20,30,50100200300500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 정확도 ±1% F.S. (20,30 SLM: ±2% F.S.) 3 선형 ±0.5% F.S. (20,30 SLM2.5% F.SL.2% F.SL.S.SL2 정확도 ±2 ≤) 반복 시간 응답 범위: 0.2% F.SL.S.SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 최대 작동 압력 1 MPa8 내압 3 MPa (435.1 psig) 9 작동 환경 온도 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 입력 출력 신호 0 V ~ +5.00 V (입력 임피던스 100K 이상, 출력 전류 3 mA 미만) 11 전원 + 15 V 50 mA;-15V 200 mA12 폼 팩터 그림 413 무게 0.95 kg 참고: 품질 유량계 및 품질 유량 컨트롤러는 일반적으로 질소 (N2) 로 출하됩니다.질량 유량의 단위는 SCCM(표준 밀리리터/분),SLM(표준 L/분) 표준 상태는 온도---273.15K(0℃);기압 - 101325 Pa (760mm Hg) 는 7 성 유량계 MFC/MFM 제품 센터에서 단위 SCCM과"mL/min, 0 ℃, 1atm"이 동일하고 단위 SLM과"L/min, 0 ℃, 1atm"이 동일합니다.4페이지 합계 28페이지 F.S.(Full Scale): 전체 측정값 표 2.D07-19BM형 MFM 성능 지표 번호 항목 D07-19BM1 트래픽 사양(0~5,10,20,30,50100200300500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 정확도 ±1% F.S. (20,30 SLM: ±2% F.S.) 3 선형 ±0.5% F.S. (20,30 SLa.SLa) 작동 압력 ±2.9% F.SLa ±2.9% F.SLa.S. (최대 0.5% f.) MPa(1450.4 psig) 9 작동 환경 온도 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 출력 신호 0 V ~ +5.00 V(입력 임피던스 100K 이상, 출력 전류 3mA 미만) 11 전원 + 15 V 50 mA - 15 V 50 mA12 외형 인치 견도 413 중량 0.7 kg 각 모델 제품의 주요 기술 지표는 표 1과 표 2를 참조한다.D07-19BM형은 D07-19B형의 류량측정부분으로서 같은 류형의 MFM과 MFC의 류량계량부분의 기술지표가 같다.4. 구조와 작동원리 4.1 구조질량유량계는 유량센서, 분류기 채널과 유량증폭회로 등 부품으로 구성된다.질량유량계에 더해 조절밸브와 PID 제어회로가 질량유량제어기를 구성한다.D07-19B 품질 트래픽 컨트롤러, 커버를 연 후의 구조는 그림 2와 같다.