온라인 미량 습도 이동 변송기

신형 Pura Plus는 미셀 계량기가 웨이퍼 산업의 장비 크기와 지표에 대한 최신 수요 변화에 맞추어 특별히 설계되었다.Pura Plus는 반도체 공장 내에서 생산 라인으로 통하는 가스 공급의 맨 끝에 다중 경로로 장착되어 초순수 불활성 가스의 응용을 모니터링하는 온라인 미량 습도 이동 변송기입니다.공장 내 가스 시스템은 여러 지점, 노드 및 사용 지점과 관련하여 복잡하게 분산되어 있습니다.따라서 일반적인 습도 측정 지점 후에는 미량의 누출, 비효율적인 시스템 설계, 부품 고장 또는 프로세스 오류 등으로 인해 습기가 스며들어 다운스트림 사용에 영향을 줄 수 있습니다.배포 시스템에 설치된 Pura Plus는 20ppb의 습도 수준에서 빠른 응답 지시를 제공합니다. 1ppb의 비동기식 응답 시간은 1분 미만입니다. 하이라이트 ppb 레벨 습도 변동에 대한 신속한 대응 저습도 ppb 수준의 감도(<1ppb) 다중 측정 설치의 새로운 개념 낮은 유지 관리 요구 사항 신호등식 상태 표시 경고 및 경고 지점 설정 가능 odbus 네트워크 호환 원격 제어 인터페이스를 위한 다중 채널 소프트웨어 (UHP) 초순수 가스의 파이프라인 체크
기술 지표
응답 속도 <1분 20ppb 습기 변동 1ppb의 응답 시간 습도 측정 거리 1 ppb에서 20,000 ppm 압력 범위 0 ~ 10 바 내압 등급 300 바 누설 테스트 0-9 mbar l/s 워크플로우 범위 1 ~ 10 l/분 작동 온도 5 ~ 40°C 저장 온도 30 ~ 70 ° C 전원 20 ~ 28 V DC 전력 소비량 5W 최대 외부 퓨즈 등급 500mA 급융형 데이터 출력 odbus ASCII 2선 RS485 경고 및 경고 출력 2번 최대 전압 40 V DC 최대 전류 100 mA의 가스 접촉 재료 케이스 소재 스테인리스 스틸 AISI 316L, 내부 표면 전기 광택 <10 Ra 센서 구조 산화 알루미늄 전해질, 상층 도금 보호, 하층 알루미늄층 내부 용적 4.4cm³ 무게 450g 가스 회로 인터페이스 1/4' m VCR 전기 인터페이스 9 - 핀 D - 유형 m 커넥터 전자기 호환성 EN50081-2 및 EN50082-2