현미분광막 두께계(OPTM 시리즈)

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개요

현미분광막 두께계(OPTM 시리즈)는 현미분광법을 사용하여 미세한 영역 내에서 절대 반사율을 통해 측정되며, 고정밀 막 두께/광학 상수 분석이 가능하다.다양한 필름, 웨이퍼, 광학 재료 및 다층 필름과 같은 비파괴 및 비접촉 방식으로 코팅의 두께를 측정합니다.

제품 정보

현미분광막 두께계(OPTM 시리즈)

목표 필름의 * * 반사율을 측정하고 고정밀도로 필름 두께와 광학 상수를 측정합니다!비접촉·비파괴·현미

측정 시간은 1초!

OPTM 시리즈는 미세 영역에서 현미경 스펙트럼을 사용하여 ** 반사율로 측정되며 고정밀 필름 두께/광학 상수 분석이 가능합니다.다양한 필름, 웨이퍼, 광학 재료 및 다층 필름과 같은 비파괴 및 비접촉 방식으로 코팅의 두께를 측정합니다.측정 시간에서 1초/점의 고속 측정이 가능하며, 처음 사용하는 사용자라도 광학 상수를 쉽게 분석할 수 있는 소프트웨어가 탑재되어 있다

显微分光膜厚仪（OPTM系列）

제품 특징:

헤드에 박막 두께 측정에 필요한 기능이 내장되어 있음

현미경 분광법으로 고정밀 ** 반사율(다층막 두께, 광학 상수) 측정

1시 1초 고속 측정

현미분광 아래 넓은 범위의 광학 시스템 (자외선 * * 근적외선)

영역 센서의 보안 메커니즘

간단한 분석 마법사, 초보자도 광학 상수 분석 가능

독립 측정 헤드는 각종 온라인 객제화 수요에 대응한다

다양한 사용자 정의 지원

측정 항목:

** 반사율 측정

다층막 분석

광학 상수 분석 (n: 굴절률, k: 소광계수)

적용:

반도체: 웨이퍼 샘플의 자동 조정, 웨이퍼의 굴곡 검사

광학 부품: 렌즈 렌즈의 방사율, 굴곡 등 검사

현미분광막 두께계(OPTM 시리즈)제품 사양 모델:

	OPTM-A1	OPTM-A2는	OPTM-A3는
파장 범위	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
막 두께 범위	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
측정 시간	1초 / 1시
반점 크기	10μm(*** 약 5μm 작음)
감광 소자	CCD는		InGaAs는
라이트 사양	듀테륨 램프+할로겐 램프		할로겐 램프
전원 사양	AC100V ±10V 750VA(자동 샘플대 사양)
치수	555(W)×537(D)×568(H)mm(자동 샘플대 규격의 본체 부분)
무게	약 55kg(자동 샘플대 규격의 본체 부분)

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