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상해배람광전과학기술유한회사
ryu@ultrablue-sci.com;info@ultrbalue-sci.com
13331917708
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목표 필름의 * * 반사율을 측정하고 고정밀도로 필름 두께와 광학 상수를 측정합니다!비접촉·비파괴·현미
측정 시간은 1초!
현미분광막 두께계(OPTM 시리즈)는 현미분광법을 사용하여 미세한 영역에서 **반사율을 통해 측정되며, 고정밀 막 두께/광학 상수 분석이 가능하다.다양한 필름, 웨이퍼, 광학 재료 및 다층 필름과 같은 비파괴 및 비접촉 방식으로 코팅의 두께를 측정합니다.측정 시간에서 1초/점의 고속 측정이 가능하며, 처음 사용하는 사용자라도 광학 상수를 쉽게 분석할 수 있는 소프트웨어가 탑재되어 있다

제품 특징:
헤드에 박막 두께 측정에 필요한 기능이 내장되어 있음
현미경 분광법으로 고정밀 ** 반사율(다층막 두께, 광학 상수) 측정
1시 1초 고속 측정
현미분광 아래 넓은 범위의 광학 시스템 (자외선 * * 근적외선)
영역 센서의 보안 메커니즘
간단한 분석 마법사, 초보자도 광학 상수 분석 가능
독립 측정 헤드는 각종 온라인 객제화 수요에 대응한다
다양한 사용자 정의 지원
측정 항목:
** 반사율 측정
다층막 분석
광학 상수 분석 (n: 굴절률, k: 소광계수)
적용:
반도체: 웨이퍼 샘플의 자동 조정, 웨이퍼의 굴곡 검사
광학 부품: 렌즈 렌즈의 방사율, 굴곡 등 검사
제품 사양 모델:
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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파장 범위 |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
막 두께 범위 |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
측정 시간 |
1초 / 1시 |
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반점 크기 |
10μm(*** 약 5μm 작음) |
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감광 소자 |
CCD |
InGaAs |
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라이트 사양 |
듀테륨 램프+할로겐 램프 |
할로겐 램프 |
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전원 사양 |
AC100V ±10V 750VA(자동 샘플대 사양) |
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치수 |
555(W)×537(D)×568(H)mm(자동 샘플대 규격의 본체 부분) |
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무게 |
약 55kg(자동 샘플대 규격의 본체 부분) |
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