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상해배람광전과학기술유한회사
개요
개요 STACIS IIIc 은 STACIS III** 활성 방진 시스템의 컴팩트한 버전입니다.또한 향상된 높이에서도 뛰어난 방진 성능을 제공합니다.STACIS IIIc은 표준 STACIS III 시리즈로 인해 없거나 바닥이 낮은 활성 바닥에서 사용하기에 적합합니다.
제품 정보
개요
STACIS IIIc은 STACIS III** 활성 방진 시스템의 컴팩트한 버전입니다.또한 향상된 높이에서도 뛰어난 방진 성능을 제공합니다.
STACIS IIIc은 표준 STACIS III 시스템의 높이가 기기를 지나치게 높게 만들기 때문에 없거나 바닥이 낮은 활성 바닥에서 사용하기에 적합합니다.
3분리기 구성에서 분리기 높이는 일반 STACIS III 높이의 60% 미만입니다.분리기가 3개 이상인 시스템에서는 페이로드 설정에 따라 높이가 60~70% 정도 높아집니다.자세한 내용은 아래 사양을 참조하십시오.
STACIS IIIc 이점
분리기 높이 **는 일반 STACIS III 시스템에 비해 42% 더 낮지만 성능은 떨어지지 않습니다.
STACIS는 공기 방진기보다 수백 배 견고해 공기 방진 시스템의 한계가 전혀 없다."소프트" 서스펜션이 없으며 활성 공기 시스템과 달리 STACIS는 내부 활성 공기 방진 시스템이 있는 도구 아래에 배치되어 두 시스템 모두 ** 상태에서 작동할 수 있습니다.
고유한 직렬 설계 및 고유한 고압 전기 기술
0.6Hz ~ 150Hz의 넓은 활성 대역폭과 2Hz부터 90% 의 진동을 감소시키는 ** 활성 방진 성능을 제공합니다.
성능
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
성능 사양
사양
| 활성 자유도 | 6 |
| 활성 대역폭 | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 수동 고유 주파수 | 18Hz 수직 및 수평 |
| 유효한 활성 공명 주파수 | 0.5 Hz |
| 1Hz 간격 | 40% - 70% |
| ≥ 2Hz 간격 | ≥90% |
| 4.5kg(10파운드) 스텝 입력 후 안정 시간 (10: 1 감소) |
0.3초 |
| 내부 소음 | <0.1 nm RMSd> |
| 방진기당 워크로드 범위 | 낮은 하중: 181-499kg(400-1100파운드) 중간 무게: 408~953kg(900~2100파운드) 견고성: 862-2041kg(1900~4500파운드) |
| 강도(1000파운드/454kg 질량, 중간 하중력 방진기) | 40000파운드/인치(73x105소/미터) |
| 격진기 * * 4인치 (102mm) 에서 발사되는 자기장 | <0.02 μG broadband RMSd> |
진동 차단기 설계, 크기, 환경 및 성능 요구 사항
| 환경 및 보안 | CE 및 RoHS 준수 |
| 액티브 방진 컴포넌트 | * * 작은 하중력(1500kg) 3300파운드의 전압 구동기는 800VDC를 출력하는 고압 증폭기로부터 신호를 수신합니다.수직 집행기는 방진의 유효 하중을 지탱한다 |
| 패시브 방진 소자 | 단일 경질 각방향 동성 탄성체 (공기원 압축 불필요) |
| 진동 센서 소자 | 격진기 아래쪽의 지면 진동을 측정하고 진동 운동 속도에 정비례하는 전압을 제공하는 아래쪽의 지진 검파기형 관성 센서 |
| 액티브 피드백 제어 회로 | 방진 표면을 지지하는 스프링 아래에서 지면 진동을 측정, 처리 및 감쇠합니다. |
| 방진기 크기(가로x세로x두께) | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
| 방진기 무게 | 24kg(53파운드) |
| 작동 온도 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
| 저장 온도 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
| 습도 | 30 - 60% |
| 시스템 전원 요구 사항 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W CE 준수 |
| 지면 변위 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 시스템당 방진기 수 | 최소 3개 |
| 옵션 액세서리 | 층압 스테인리스강 플랫폼, 프레임, 입관, 조평장치, 내진장치, 승강덮개 |
DC-2020 디렉터 사양
| 크기(가로x세로x두께) | 19 x 8.5 x 1.75인치 483 x 216 x 45 mm |
| 무게 | 2.9kg(6.3파운드) |
| 프로세서 | 150/75MHz 듀얼 코어 |
| 샘플링 속도 | 10 kHz |
| 아날로그 출력 | 채널 16개 |
| 아날로그 입력 | 채널 16개 |
| 상태 표시등 | 단일 LED |
| 전면 패널 포트 | 직렬 USB 2.0 1개 직렬 Micro-USB 1개 이더넷 RJ-45 1개 BNC 2개 |
| 후면 패널 포트 | 직렬 USB 2.0 1개 이더넷 RJ-45 1개 RS-232 DB-9 레거시 직렬 1개, 레거시 STACIS 2100 방진기 |
| 사용자 인터페이스 | 전면 패널 LCD 하이퍼터미널의 문자 메뉴 icrosoft Windows용 확장 GUI 내장형 이더넷 GUI |
STACIS 사용자 및 애플리케이션
1. 마이크로전자, 반도체
▪ 웨이퍼 검사
▪ 현미경 광각 기술
▪ 마스크 조정
2. 과학 연구, 나노 기술
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. 레이저 스탠드
▪ 생명 과학, 약물 개발
4. 공업 응용
▪ 정밀가공
액티브 시스템을 선택해야 하는 이유
▪ <1Hz부터 지면의 진동을 강하게 제거하기 시작하는데, 공기압 플랫폼은 이 저주파에서 효과적인 방진을 할 수 없다
▪ 품질과 생산량을 높이다
▪ 더욱 세분화된 이미지 처리 능력
▪ 최첨단 연구
▪ 에어 플랫폼보다 안정적이에요
▪ SEM 표준 사이트 설치 매개 변수를 충족하는 ** 솔루션
▪ 새로운 실험실 및 연구 설비의 공정비를 더욱 낮추다
액티브 시스템이 STACIS를 선택하는 이유
▪ 과학 연구자들의 의견에 부응하여 가능한 한 * * 의 무진장 환경을 제공하였다.
▪ 시장 * * 강력한 저주파 방진 시스템.
▪ 현재 모든 SEM 제조업체는 설치 매개변수 요구 사항을 발표했으며, 필요한 진동 매개변수는 능동 방진 시스템이 충족되어야 합니다.
▪ 1990s에서 발명된 STACIS**는 TMC의 발전을 통해 수천 개의 능동 방진 시스템을 개발하고 설치했으며 이는 능동 방진 제어 분야에서 제공하는 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.
STACIS는 공기압 분리기에 비해 강성이 수백배
안정 시간은 교란에 대한 응답으로서 독특한 직렬식 설계로 인해 크게 단축되어 기계 제조, 동적 부하, 레이저 또는 광원이 설치해야 하는 독립적인 강성 테이블의 경우 이상적으로 응용된다.
업계에서 다음과 같은 이점을 얻을 수 있습니다. * *
▪ STACIS의 활성 진동 차단 대역폭은 0.6Hz-150Hz입니다.
▪ 6개의 자유도의 능동 진동 제거, 1Hz에서 8~10dB 만에 진동
▪ 2-3Hz에서 최대 90%의 진동 차단(20dB)
전문적인 환경 조사
1. 설치 전후의 환경 조사(진동, 자기장, 음파 포함)
2. 설치 후 환경 시스템 시스템 인증 제공
▪ 완벽한 환경 조사 서비스
▪ 전문 환경 보고서 작성
▪ 진동, 자기장, 음파 감지 및 솔루션 제공
▪ TMC는 광범위한 경험을 바탕으로 실용적인 시나리오를 사용자에게 권장합니다.
▪ 40년 이상의 업계 경험, 업계 * *
사진 적용
