미국 KRI 홀 이온 소스 eH 1000

협상 가능업데이트07/20

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제조업체의 성격: 생산자

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개요

상해 백동대리 미국 코프만박사가 설립한 코프만회사 KRI 홀 이온원 eH 1000 고효률기체리용, 저비용설계는 고이온전류를 제공하는데 특히 중형진공시스템에 적합하다.울타리가 없는 이온원에 속한다.일반적으로 이온 보조 도금, 사전 세척 및 저에너지 이온 식각에 적용됩니다.크기: 지름 = 5.7 높음 = 5.5 방전 전압 / 전류: 50-300V / 10A 작동 가스: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 유기 전구체

제품 정보

미국 KRI 홀 이온 소스 eH 1000 제품 특징:

백동KRI홀 이온원eH 1000특징:

1.분리형 양극 어셈블리-손쉬운 서비스;유지 보수 시,다운타임 최소화;플러그 앤 플레이 대기 양극

2.광빔 고방전 전류-고전류 밀도;균일한 식각률;각식 효율이 높다.;고이온 보조 도금막IAD효율성

3.다용도-적용 대상Load lock /초고진공 시스템;간편한 설치;물 냉각 불필요

4.효율적인 플라즈마 변환 및 안정적인 전력 제어

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