미국 KRI 홀 이온 소스 eH 400

협상 가능업데이트07/20

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제조업체의 성격: 생산자

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개요

상하이 백동 대리 미국 코프만 박사가 설립한 코프만 회사 KRI 홀 이온 소스 eH 400 저비용 설계는 고이온 전류를 제공한다. 홀 이온 소스 eH 400 사이즈와 이온 에너지는 중소형 진공 시스템에 특히 적합하다. 낮은 이온 에너지를 제어할 수 있다. 보통 이온 보조 도금, 사전 세척 및 저에너지 이온 식각에 응용된다.크기: 지름 = 3.7 높음 = 3 방전 전압/전류: 50-300eV / 5a 작동 가스: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 유기 전구체

제품 정보

미국 KRI 홀 이온 소스 eH 400 제품 특성:

백동KRI홀 이온원eH 400특징:

1.분리형 양극 어셈블리-손쉬운 서비스;유지 보수 시,다운타임 최소화;플러그 앤 플레이 대기 양극

2.광빔 고방전 전류-균일한 식각률;각식 효율이 높다.;고이온 보조 도금막IAD효율성

3.다용도-적용 대상Load lock /초고진공 시스템

4.효율적인 플라즈마 변환 및 안정적인 전력 제어

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