미국 KRI 홀 이온 소스 Gridless eH 시리즈

상해 백동대리미국 코프만박사가 설립한 코프만회사 KRI 홀리온원 eH계렬은 광속형이온원에 속하며 산란각도 45. 홀리온원 기체류량은 2-25sccm/2-50sccm/2-50sccm/2-75sccm/5-100sccm 등 부동한 등급을 선택할수 있다.홀 이온 소스 전류는 5A/ 10A/ 12A/ 15A/ 20A 등을 선택할 수 있습니다.홀의 이온원은 고농도로 도금막의 퇴적속도를 높이고 저동력은 이온의 폭격손상표면을 감소시키며 광속설계는 처리량을 효과적으로 높이고 퇴적구역을 덮어씌운다.전체적으로 조작하기 쉽고 유지 보수하기 쉽다.홀 이온 소스 eH는 이온 소스, 전자 중화기, 전원 공급기, 트래픽 컨트롤러 MFC 등을 포함하는 완전한 시나리오를 제공합니다.