| 사양 번호 |
매개변수 |
| 측정 범위 |
X축 |
0-200mm 옵션 |
| Z축 |
0-620mm 옵션 |
| Z1축 |
6mm, 2mm |
| 선형 정밀도 |
프로파일 |
≤±0.07%f.s.(95mm 측정대) |
| 조잡도 |
≤± (12nm + 3%) |
프로파일 측정: 다양한 유형의 가공소재 표면의 선 요소, 점 요소, 점과 점의 거리, 선과 선의 거리, 각 요소의 위치도는 거리, 평행도, 수직도, 각도, 슬롯 깊이, 슬롯 폭, 반지름을 포함하며 직선도 분석, 볼록도 분석을 할 수 있다.
프로파일 분석: Pa, Pt, Pp, Pv, Pz, Pq, Psm, Psk, Pku, Pmr
粗糙度测量:Ra, Rp, Rv, Rz, Rz (jis), R3z, RzDIN, Rzj, Rmax, Rc, Rt, Rq, Rsk, Rku, Rsm, Rs, R△Q, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Rmr
물결 매개변수: Wa, Wt, Wp, Wv, Wz, Wq, Wsm, Wsk, Wku, Wmr