정화 레벨은 100-10000 레벨에 도달할 수 있습니다.작업 영역 내에서 로컬 정화 수준이 높은 영역에 적용:
클린룸 내의 기류는 클린룸의 성능을 좌우하는 중요한 요소이다. 일반적으로 클린룸의 기류 속도는 0.25~0.5m/s 사이이다. 이 기류 속도는 미풍 구역에 속하기 때문에 사람, 기계 등의 동작에 의해 방해되기 쉽고 혼란스러워진다. 풍속을 높이면 이 교란의 영향을 억제하여 청정도를 유지할 수 있지만 풍속의 향상으로 인해 운행 원가의 증가에 영향을 줄 수 있기 때문에 요구된 청정도 수준을 만족시킬 때 가장 경제적인 풍속으로 공급할 수 있다.
다른 한편으로 청정실의 청정도의 안정효과를 달성하려면 균일기류의 유지도 중요한 요소이다. 균일기류가 유지되지 못하면 풍속이 다르다는 것을 의미한다. 특히 벽면에서 기류가 벽면을 따라 와류작용을 일으킬 수 있다. 이때 고청정도를 실현하는 것은 사실상 어렵다.
수직 층류식 방향이 균일 기류를 유지하려면 반드시 (a) 부는 풍속은 속도상의 차이가 있어서는 안 된다.(b) 바닥 환풍판 흡입면의 풍속은 속도상의 차이가 있어서는 안 된다.속도가 너무 낮거나 높음 (0.2m/s, 0.7m/s) 은 모두 와류 현상이 발생하지만, 0.5m/s의 속도는 기류가 비교적 균일하며, 일반 클린룸의 풍속은 모두 0.25~0.5m/s 사이이다.