3차원 표면 측정기 광학 윤곽계

1. 제품 소개

3D 표면 측정기 광학 프로파일러 Super Focus3000각종 정밀 부품 및 재료 표면에 대한 나노미터급 측정을 위한 측정 기기다.백색광 간섭 기술을 원리로 정밀 Z방향 스캐닝 모듈, 3D 모델링 알고리즘 등을 결합하여 부품 표면을 비접촉식 스캐닝하고 표면 3D 이미지를 구축하며, 시스템 소프트웨어를 통해 부품 표면 3D 이미지를 데이터 처리 및 분석하고, 부품 표면 질량을 반영하는 2D, 3D 매개변수를 획득하여 부품 표면 형상 3D 측정을 실현하는 광학 검측 기기이다.

반도체 제조 및 패키징 공정 검측, 3C 전자유리 스크린 및 그 정밀 부품, 광학 가공, 마이크로 납 재료 및 제조, 자동차 부품, MEMS 부품 등 초정밀 가공 업계 및 항공 우주, 국방 방산, 과학 연구소 등 분야에 광범위하게 응용할 수 있다.초광활에서 거칠음, 저반사율에서 고반사율에 이르는 각종 물체 표면, 나노미터에서 마이크로미터급 공작물의 거칠음, 평평도, 미시기하학적 윤곽, 곡률 등을 측정하여 근거를 제공할 수 있다ISO/ASME/EUR/GBT4대 국내외 표준은 총 300여 종의 2D, 3D 매개변수를 평가 기준으로 삼았다.

2. 제품 기능

1) 일체화 작업의 측정 및 분석 소프트웨어, 조작은 인터페이스를 전환할 필요가 없고, 미리 설정 파라미터를 설정한 후 측정을 진행하며, 소프트웨어는 자동으로 측정 데이터를 통계하고 데이터 보고서 내보내기 기능을 제공하여 대량 측정 기능을 빠르게 실현할 수 있다.

2) 측정에는 자동 다중 영역 측정 기능, 대량 측정, 자동 초점, 자동 밝기 조절 등의 자동화 기능이 제공된다.

3) 측정에서 조인트 측정 기능을 제공합니다.

4) 분석에서 위치 조정, 수정, 필터링, 추출 등 4대 모듈의 데이터 처리 기능을 제공하는데 그 중에서 위치 조정은 이미지 교정, 미러링 등 기능을 포함한다.수정에는 공간 필터, 스캐닝, 피크 노이즈 제거 등의 기능이 포함됩니다.필터는 외형 제거, 표준 필터, 필터 스펙트럼 등의 기능을 포함한다.추출에는 영역 추출 및 횡단면 추출 등의 기능이 포함됩니다.

5) 분석에서 조잡도분석, 기하윤곽분석, 구조분석, 주파수분석, 기능분석 등 5대 분석기능을 제공하는데 그중 조잡도분석에는 국제표준에 의거한 ISO4287의 선조잡도, ISO25178면조잡도, ISO12781평평도 등 전반 매개변수분석기능이 포함된다.기하학적 윤곽 분석은 계단 높이, 거리, 각도, 곡률 등 특징 측정과 직선도, 원도 형위 공차 평가 등 기능을 포함한다.구조 분석에는 구멍 부피와 파곡 깊이 등이 포함된다.주파수 분석에는 텍스쳐 방향과 스펙트럼 분석 등의 기능이 포함됩니다.기능 분석에는 SK 매개변수와 볼륨 매개변수 등의 기능이 포함됩니다.

6) 분석에서 원클릭 분석과 다중 파일 분석 등 보조 분석 기능을 동시에 제공하고, 분석 템플릿을 설정하며, 측정에서 제공하는 자동 측정과 대량 측정 기능을 결합하여 작은 크기의 정밀 부품에 대한 대량 측정을 실현하고 분석 데이터를 직접 획득하는 기능을 실현할 수 있다.

3. 응용분야

각종 제품, 부품과 재료 표면의 평면도, 거칠음, 파문도, 면형 윤곽, 표면 결함, 마모 상황, 부식 상황, 공극 간극, 계단 높이, 굴곡 변형 상황, 가공 상황 등 표면 형상 특징을 측정하고 분석한다.

4. 성능 특징

1, 고정밀도, 높은 반복성

1) 광학 간섭 기술, 정밀 Z방향 스캐닝 모듈과 우수한 3D 재구성 알고리즘으로 측정 시스템을 구성하여 측정 정밀도를 확보한다;

2) 독특한 방진 시스템은 주파수 2Hz 이상의 대부분의 진동을 효과적으로 격리할 수 있고, 지면 진동 소음과 공기 중 음파 진동 소음을 제거할 수 있으며, 기기가 대부분의 생산 현장 환경에서 안정적으로 사용할 수 있도록 보장하고, 매우 높은 측정 중복성을 얻을 수 있다;

2, 통합 작업을 위한 측정 분석 소프트웨어

1) 측정과 분석은 같은 인터페이스 조작으로 전환할 필요 없이 측정 데이터가 자동으로 통계되어 신속한 대량 측정 기능을 실현한다.

2) 사용자가 실시간으로 스캔 과정을 관찰할 수 있도록 시각화 창;

3) 사용자 정의 분석 템플릿의 자동 측정 기능과 결합하여 여러 영역의 측정 및 분석 프로세스를 자동으로 완료할 수 있습니다.

4) 기하학적 분석, 조잡도 분석, 구조 분석, 주파수 분석, 기능 분석 등 5대 기능 모듈이 모두 갖추어져 있다.

5) 원클릭 분석, 다중 파일 분석, 자유 조합 분석 항목을 분석 템플릿으로 저장, 대량 샘플 원클릭 분석, 데이터 분석 및 통계 차트 기능 제공;

6) ISO/ASME/EUR/GBT와 같은 표준에 따라 최대 300여 종의 2D, 3D 매개변수를 측정할 수 있다.

3, 정밀 조종 핸들

X, Y, Z 세 가지 방향 변위 조정 기능이 통합된 핸들은 탑재대 초점이동, Z방향 초점, 줄무늬 찾기 등 측정 전 작업을 빠르게 수행할 수 있다.

4, 이중 채널 공기 부양 방진 시스템

고객 현장의 안정적인 기원에 접속할 수 있을 뿐만 아니라 휴대용 가압 장치로 직접 가압 충전하는 이중 통로 가스 부상 방진 시스템을 채택하여 외부 기원이 없는 조건에서도 안정적으로 작업할 수 있다.

5. 기술지표

1. 기술 사양:

참고: 거친 성능 매개변수는 ISO에 따라 다릅니다.

25178 국제 표준은 실험실 환경에서 Ra를 0.2nm 실리콘 웨이퍼 Ra 매개변수로 측정하여 획득한다;

2ISO 기반 계층 고성능 매개변수25178 국제 표준은 실험실 환경에서 4.7µm 계단의 높은 표준 블록을 측정하여 획득합니다.. 계기 크기(길이×폭

3×

4높이): 본체: 900×700×604 ㎜;

.기기 본체 무게: 90kg 미만;

. 사용 환경: 강한 자기장 없음, 부식 가스 없음

작동 온도: 15 ℃ ~ 30 ℃, 온도 경도<

1 ℃ / 15분

상대 습도: 5~95% RH, 무응고

환경 진동: VC-C 이상

방진 기원: 0.6Mpa 안정 압력 청정 기원, 기름 제거, 물 제거, 기관 직경 6 ㎜
6. 제품 구성 목록표준 구성:1) 백색 간섭 측정기 호스트2)

간섭 대물경:10X；

3) 이미지 시스템:1024*1024；4) 광학Zoom

：

1X

；

5) XY 변위 운반 장치: 자동 변위 장치;

6) 브랜드 컴퓨터,

7) 시스템 교정 모듈;

8) 핸들 조작;

9) 표면 프로파일러 소프트웨어,

10) 전기 제어 캐비닛;

11) 기기 부품 상자;

12) 휴대용 가압 충전 장치 세트;

13) 제품 사용 설명서,2.514) 제품 합격증, 보증 카드;5옵션 구성:201) 간섭물경:50×、100×、

×、2048×、2048×；

2) 이미지 시스템:×；3) 광학zoom：0.75X

，

0.5X

；4) 자동 측정 모듈 (하드웨어 지원 필요);5) 조립 모듈 (하드웨어 지원 필요);6) 진공 흡착대 세트(