일찍 1738년에 스위스 다니엘 버누리는 제1 버누리방정식을 기초로 차압법을 리용하여 수류량을 측정하였다.이후 이탈리아인 G.B. 벤츄리 연구용 벤츄리관으로 유량을 측정해 1791년 연구 결과를 발표했다.

1886년에 미국인 허셀은 벤츄리관을 응용하여 수량을 측정하는 실용적인 측정장치를 만들었다.

20세기 초기부터 중반까지 기존의 측정원리가 점차 성숙해지자 사람들은 더는 사고방식을 기존의 측정방법에 국한하지 않고 새로운 탐색을 시작하였다.

30년대에 이르러 액체와 기체의 유속을 음파로 측정하는 방법인 음파로 유량을 측정하는 방법을 연구했으나 제2차 세계대전까지 큰 진전을 이루지 못하다가 1955년에야 항공연료의 유량을 측정하는 음순환법을 응용한 마크슨 유량계가 나왔다.

20세기 60년대 이후 측량 계기는 정밀화, 소형화 등의 방향으로 발전하기 시작했다.

집적회로기술이 신속히 발전함에 따라 자물쇠상환로기술을 갖춘 초음파(파)유량계도 보편적으로 응용되였다. 미니컴퓨터의 광범한 응용은 류량측정능력을 한층 더 제고시켰다. 례를 들면 레이저도플러류속계가 미니컴퓨터를 응용한후 비교적 복잡한 신호를 처리할수 있다.