WafIR™ 웨이퍼 측정 ATR

WafIR™는웨이퍼 측정ATR는

WafIR는™수준입니다.ATR는양면 광택 웨이퍼 쪽에 가해지는 단일 레이어 및 기타 얇은 코팅을 분석하는 데 사용되는 키트입니다.하나의45° 입사각의 실리콘 결정체는 빛을 웨이퍼 안팎으로 결합시킬 수 있다.WafIR는압력 패드가 있는 압력 주입기가 포함되어 있으며 측정 영역 밖에 있는 * 작은 접촉 면적으로 * 좋은 접촉을 구현하도록 설계되었습니다.압력 주입기는 샘플에 가해지는 총 힘을 제한하고 반복성을 위해 토크 렌치와 호환되는 슬라이딩 클러치를 포함합니다.WafIR는전체 폐쇄, 빠른 정화에 사용, 대부분의FTIR분광기 호환.

피쳐

수평 샘플링 표면의 무장애 수용 지름52 x 10의 mm에203 mm（8인치)의 웨이퍼입니다.

비접촉식 샘플링 방법;결합 결정과의 접촉은 측정 영역 외부에 있습니다.

여러 번 반사되어 민감도가 높다.

대상0.770코팅 표면에서 제공되는 밀리미터 두께의 웨이퍼33차반사.

고정45° 입사각.

실리콘 결합 결정체 교체 가능.

내장 슬라이딩 클러치는 시료에 가해지는 총 힘을 제한합니다.

견본과의 접촉을 최소화할 수 있는 쿠션이 있는 독특한 압력 주입기.

간편한 정렬 및 사용

PermaPurge는™세척을 중단하지 않고 신속하게 샘플을 교체할 수 있습니다.

포함

실리콘 결합 결정체의WafIR는。

분광기의 하드웨어를 함께 지정합니다.