SPARC 스SPECTRAL

AMOLF Albert Polman 그룹은 ARC(angle-resolved cathodoluminescence) 기술을 혁신적으로 개발한 공로로 2014년 MRS 대상을 수상했다.이 기술은 네덜란드 Delmic에서 재설계되어 상용화되었으며 SPARC로 명명되었습니다.

SPARC 시스템은 고성능 음극 발광 수집 및 감지 시스템입니다.이 시스템의 독특한 점은 사용 편의성과 호환성으로 어떤 SEM에도 장착할 수 있다는 것이다.고유한 고정밀 거울로 인한 초고감도 및 사용 편의성으로 음극 발광 애플리케이션을 새로운 수준으로 향상시킵니다.

SPARC는 또한 세계에서 유일하게 각도 분별 모드를 가진 음극 발광 감지 시스템으로, 나노급 광학 특성과 재료 특징을 빠르고 민감하게 탐지할 수 있으며, 주로 나노 광학, 재료 과학 및 지질학 연구에 응용된다.SPARC는 나노 광자학, 표면 등 이격원, 태양광 전지, 나노 안테나 등 새로운 고급 응용 분야를 개척했다.

고급 연구

샘플 특성을 전면적으로 표징하다.

SPARC는 나노미터급 스펙트럼 정보를 연구하기에 이상적인 플랫폼이다.SEM에 시스템이 통합되어 음극 발광 이미지를 쉽게 구현할 수 있으며 EBSD 전자 백산란 회절, EBIC 및 BSD와 같은 SEM의 다른 탐지 결과와 완벽하게 연관되어 더 많은 정보를 얻을 수 있습니다.

SEM과의 원활한 통합

시스템은 SEM이 제공하는 진공 포트에 간섭하지 않고 설치되며 내부 수집 거울은 전동으로 후퇴할 수 있습니다.원래 상태로 렌즈를 복구하는 것은 매우 간단하고 쉽습니다. 소프트웨어를 조작하고 포물경 리턴 기능을 클릭하기만 하면 됩니다.전체 프로세스는 5분 이내에 SEM을 원래 상태로 완전히 복원할 수 있습니다.

반포물경 자동 폴백 프레젠테이션

이미징 모드

고속 광 강도 스캐닝

고속 아날로그량 광전 배율 증폭관 PMT 검사로 대규모 고속 이미징에 사용할 수 있다.대면적의 견본에 대한 쾌속적인 검측은 지질령역의 응용, 초쾌속부품의 연구와 관심구역의 쾌속적인 위치확정에 아주 적합하다.필요에 따라 스펙트럼을 구성하고 필터링 휠이 내장되어 있습니다.

각분해 분석 스펙트럼 영상

SPARC는 매우 독특한 각도 해상도 이미지를 제공합니다.일반적으로 광섬유나 좁은 개구를 통해 빛을 결합하는 것과 달리 대면적의 반포물반사경은 직접 결합하여 영상카메라에 반사되여 광자수집효률을 대폭 제고시킨다.가장 특이한 것은 시스템이 빛의 발사 방향성도 감지할 수 있어 순간 스펙트럼이라고도 불린다.이 모드에서는 필터 사용 휠의 특정 필터를 조정하여 필요한 파장을 선택합니다.

고보상

SPARC 시스템이 스펙트럼 모드에서 작동하면 반사경에서 전달되는 빛은 래스터 또는 체르니-터너 분광기에서 이미지를 만드는 데 초점을 맞춥니다.서로 다른 영상 탐지기는 200nm-1600nm의 스펙트럼 범위를 커버할 수 있다.전자빔으로 전체 샘플을 스캔하면 공간 해상도가 높은 스펙트럼 이미지를 얻을 수 있다.

음극 발광 편광 이미지

각도 분별 모드에서 편광 필름 또는 편광계를 사용하면 SPARC 시스템은 다른 발사 각도의 빛을 극성 상태로 재구성할 수 있습니다.선진적인 광학 시스템의 자동 교정은 반포물 반사경의 조준 검사를 포함하며, 극성 상태 재구성에 있어서 가장 관건적인 일환이다.SPARC는 전체 시스템 자동 교정 기능을 제공합니다.

친근한 사용자 상호 작용

Odemis 소프트웨어

모듈식 설계와 오픈 소스 ODEMIS 소프트웨어를 결합하여 우리는 광범위한 사용자 유형을 서비스하기 위해 우호적인 상호 작용 솔루션을 제공합니다.우리는 체계적인 솔루션을 제공하여 진정으로 응용수요에 따라 맞춤화된 독특한 시스템을 실현하여 과학자들의 부동한 수요를 충분히 만족시킨다.

소프트웨어 특징

이미지 자동 피크 보정, 즉각적인 극성 그래픽, 이미지 이동 및 드리프트 보정 등과 같은 강력한 소프트웨어 기능을 통해 이미지 수집의 효율성과 품질을 향상시킬 수 있습니다.오픈 소스 프로그램은 Python 언어로 작성되며 전문가 사용자는 자신의 이미지 알고리즘과 하드웨어 제어를 포괄적으로 사용자 정의할 수 있습니다.