플라즈마 발사 크로마토그래프

LX-3200PED 플라즈마 발사 크로마토그래프는 가스 샘플이 쿼츠 파이프를 통과할 때 고압 발생기에 의해 이온화되어 광 신호를 생성하는 초고감도 플라즈마 발사 검출기를 갖추고 있으며, 필터는 파장에 따라 선택적으로 광 신호를 필터링하고 광 다이오드를 통해 전기 신호로 변환하며, 신호 전압 증폭기를 통해 분석에 필요한 정도로 신호를 확대하여 ppt에서 백분율까지 검출 범위를 만족시킨다.

• 일반적인 분석

공분(ASU) 산업

• 고순도 O2, N2, Ar 중 불순물(H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2) 분석;
• 액체 O2, 액체 Air 및 공분 흡풍구 중 위험물질(C2H2, N2O, THC, C1-C4) 분석;
• 희귀 가스 He, Ne, Kr, Xe 중 불순물 (N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6) 분석.

특수 가스, 전자 가스 산업

• 특기 중 불순물 (H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4) 분석;
• 부식성 가스:Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2등 불순물 분석;
• 할로겐화물: C3F8, C4F8, SF6, CF4, C2F6, CHI2CI3, CH2CHCl, SiCl4 등 불순물 분석;
• CO2, NH3, H2 등 불순물 분석.

• 플라즈마 발사 검출기(PED) 작동 원리
• 플라즈마 발사 검출기는 민감도가 매우 높은 범용 검출기로, 그 내부에는 고주파 고압 전장을 탑재한 독특한 디자인의 석영 챔버가 있다.기체 샘플이 석영 챔버를 통과할 때 고압 발생기에 의해 이온화되어 장치발광이라는 형광 현상을 발생시키고 특징 스펙트럼선을 발사하며, 발사 스펙트럼선은 가스 중의 다른 물질에 따라 변화한다. 이런 광발사 기술로 샘플을 정량 분석한다.
• 검측기에서 발생하는 광신호는 광학계통에 의해 검측되는데 광학계통에는 필터와 광전기이극관이 포함된다. 필터는 파장에 따라 선택적으로 광신호를 려과하고 광전기이극관을 통해 전신호로 전환되며 신호전압증폭기를 거쳐 신호를 분석에 필요한 정도로 확대한다.
• 플라즈마 방출 검출기(PED) 검출 한계: