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흑룡강성 할빈시 남강구 학부로 191호 창업부화산업원 I2동 1층
제품 카테고리
하얼빈심내일과학기술유한공사
개요
P63.XY18S P63.XY18K 압전 나노 포지셔닝 데스크 제품 특징: XY축 여정 18μm/축;열린 / 닫힌 루프 옵션최대 0.5kg 탑재, 진공 버전 옵션,
제품 정보
P63.XY18S P63.XY18K 압전 나노 포지셔닝 테이블제품 특징
XY 축 스트로크 18 μm / 축
열린 / 닫힌 루프 옵션
적재 가능 0.5kg
진공 버전 옵션
기술 매개 변수:
모델 |
S - 닫힌 루프 K-오픈 루프 |
P63.XY18S |
P63.XY18K는 |
단위 |
운동 자유도 |
X, Y |
X, Y |
||
제어 제어 |
2방향 구동, 2방향 감지 |
2소켓 드라이브 |
||
공칭 여정 범위(0~+120V) |
16/축 |
16/축 |
μm±10% |
|
맥스. 스트로크 범위(0~+150V) |
18/축 |
18/축 |
μm±10% |
|
센서 유형 |
SGS는 |
- |
||
닫기 / 열린 루프 해상도 |
0.6 |
0.2 |
nm |
|
닫힌 루프 선형도 |
0.3 |
- |
%FS. |
|
닫힌 루프 반복 위치 정밀도 |
0.25 |
- |
%FS. |
|
푸시업/편항/스크롤 |
≤15 |
≤15 |
μrad의 |
|
빈 부하 공명 주파수 |
2 |
2 |
KHz±20% |
|
닫기 / 오픈 루프 비어 있는 단계 도약 시간 |
8 |
0.5 |
MS±20% |
|
적재 능력 |
0.5 |
0.5 |
Kg의 |
|
정전기 용량 |
1.8 |
1.8 |
μF±20% |
|
작동 온도 범위 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
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소재 |
알루미늄 |
알루미늄 |
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아웃라인 길이 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
P63.XY18S P63.XY18K 압전 나노 포지셔닝 테이블치수도
