-
이메일
info@coremorrow.com
-
전화
17051647888
-
주소
흑룡강성 할빈시 남강구 학부로 191호 창업부화산업원 I2동 1층
제품 카테고리
하얼빈심내일과학기술유한공사
개요
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 압전 나노 포지셔닝 데스크 제품 특징: X축 여정 18μm/축, 개방/폐쇄 루프 옵션, Z방향 여정, 개방/폐쇄 루프 옵션, 진공 버전 옵션
제품 정보
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 압전 나노 포지셔닝 테이블 제품 특징
X축 스트로크 18μm/축
열린 / 닫힌 루프 옵션
Z방향 여정 8μm
열린 / 닫힌 루프 옵션
진공 버전 옵션
기술 매개 변수:
모델 |
S - 닫힌 루프 K-오픈 루프 |
P63.X18Z8S |
P63.X18Z8K는 |
단위 |
운동 자유도 |
X, Z |
X, Z |
||
제어 제어 |
2방향 구동, 2방향 감지 |
2소켓 드라이브 |
||
공칭 여정 범위(0~+120V) |
X: 16, Z: 6 |
X: 16, Z: 6 |
μm±10% |
|
맥스. 스트로크 범위(0~+150V) |
X: 18, Z: 8 |
X: 18, Z: 8 |
μm±10% |
|
센서 유형 |
SGS는 |
- |
||
닫기 / 열린 루프 해상도 |
X0.6의 Z0.2 |
X0.2의 Z0.1 |
nm |
|
닫힌 루프 선형도 |
X: 0.3의 Z: 1 |
- |
%FS. |
|
닫힌 루프 반복 위치 정밀도 |
0.25 |
- |
%FS. |
|
푸시업/편항/스크롤 |
≤15 |
≤15 |
μrad의 |
|
빈 부하 공명 주파수 |
X2/Z1의 |
X2/Z1의 |
KHz±20% |
|
닫기 / 오픈 루프 비어 있는 단계 도약 시간 |
8 |
0.5 |
MS±20% |
|
적재 능력 |
0.5 |
0.5 |
Kg의 |
|
정전기 용량 |
X: 1.8의 Z0.8 |
X: 1.8의 Z0.8 |
μF±20% |
|
작동 온도 범위 |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
소재 |
알루미늄 |
알루미늄 |
||
아웃라인 길이 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
P63.X18Z8S P63.X18Z8K 압전 나노 포지셔닝 테이블치수도
