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올림푸스 OLS5000 3D 측정 레이저 공초점 현미경은 비파괴 관찰을 통해 고화질을 생성하는 이미지를 통해 정확한 3D 측정, ISO 표준에 부합하는 표면 거친도 측정 등을 할 수 있는 고급 광학 시스템을 채택했으며, 시료에 대한 사전 처리가 필요 없을 정도로 준비도 간단하다.
LEXT OLS5000 3D측정 레이저 현미경에 장착된 두 세트의 광학 시스템 (컬러 이미징 광학 시스템 및 레이저 코크스 광학 시스템) 은 컬러 정보, 높이 정보 및 고해상도 이미지를 얻을 수 있도록 합니다.
LEXT OLS5000 3D측정 레이저 현미경은4주요 가치:
·모든 표면 형태를 스냅합니다.
·신뢰할 수 있는 데이터를 신속하게 확보
·간편한 사용-샘플을 배치하고 버튼을 누르기만 하면 됩니다.
·도전적인 견본을 측량하다.
가치1: 모든 표면 형태를 스냅합니다.

OLS5000현미경의 첨단 기술로 고해상도의3D견본 측량.
가치2신뢰할 수 있는 데이터를 신속하게 확보

이 현미경의 스캔 알고리즘은 데이터 품질과 속도를 향상시켜 스캔 시간을 단축하고 워크플로우를 단순화합니다.zui결국 생산력의 향상을 실현하다.
가치3, 사용이 간단하며 샘플을 배치하고 버튼을 누르기만 하면 됩니다.

LEXT® OLS5000현미경은 자동 데이터 수집 기능을 갖추고 있어 복잡한 설정 조정이 필요 없다. 심지어 생소한 사용자도 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다.
가치4, 까다로운 샘플 측정 가능

저출력, 비접촉식 무손실 레이저 측정은 샘플 제조가 필요하지 않다는 것을 의미한다.손상되기 쉬운 재료를 손상시키지 않고 측정할 수 있습니다.최대 확장 브래킷210밀리미터 샘플, 초장거리 작업 거리 대물렌즈는 깊이를 최대25밀리미터의 움푹 패인 구덩이.이 두 종류의 샘플을 측정할 때, 당신은 샘플을 운반대 위에 놓기만 하면 됩니다.
[컬러 정보 가져오기]
컬러 이미징 광학 시스템 사용 화이트라이트 활용LED광원 및CMOS카메라가 컬러 정보를 가져옵니다.
[가져오기3D고해상도 및 고해상도 초점 이미지]
레이저 코크스 광학 시스템 채택405나노 레이저 다이오드 광원과 고감도 광전 배율 증폭관은 코크스 이미지를 얻는다.얕은 초점 깊이는 샘플의 표면 불규칙성을 측정하는 데 사용할 수 있습니다.
[405나노 레이저 광원]
광학 현미경의 가로 해상도는 파장이 줄어들면서 향상된다.짧은 파장 레이저를 사용하는 레이저 현미경은 가시광선 (피크) 에 비해550나노) 의 전통적인 현미경은 더 우수한 가로 해상도를 가지고 있다.OLS5000현미경 이용405나노 단파장 레이저 다이오드는 탁월한 가로 해상도를 얻는다.
[레이저 코크스 광학 시스템]
레이저 코크스 광학 시스템은 원형 핀홀을 통해 초점을 맞춘 광선만 수신하며 시료에서 반사되고 산란되는 모든 광선을 수집하는 것은 아닙니다.이렇게 하면 일반 현미경보다 명암비가 더 높은 이미지를 얻을 수 있으므로 흐림 현상을 없앨 수 있습니다.
[X-Y스캐너]
OLS5000현미경에는 올림푸스 광학 스캐너가 장착되어 있다.통과, 전자기 감지 채택MEMS공명 스캐너의X축 및 채택Galvano진경을 스캔했어Y축을 결합하면X-Y스캐너 는 상대 물경 렌즈 공멍 의 위치 에 위치하여 비교적 낮은 스캐너 궤적 왜곡 과 비교적 작은 광학 상차 를 가진 탁월 함 을 실현할 수 있다X-Y스캔.
[고도 측정 원리]
높이를 측정할 때 현미경은 초점 위치를 자동으로 이동하여 여러 개의 초점 이미지를 가져옵니다.
비연속적인 포커스 위치 (Z) 및 광원 강도 측정 (I) 는 각 픽셀의 광 강도 변화 커브 (I-Z커브) 및 피크 위치 및 피크 강도를 얻을 수 있습니다.모든 픽셀의 피크 위치는 샘플 표면의 불규칙성에 해당하므로 샘플 표면의3D모양 정보.이와 마찬가지로 피크 강도 데이터를 통해 샘플 표면의 모든 위치에 초점을 맞춘 이미지 (확장 이미지) 를 얻을 수 있습니다.
호스트 사양:
|
모델 |
OLS5000-SAF |
OLS5000-SMF |
OLS5000-LAF |
OLS5000-EAF |
OLS5000-EMF |
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총 배율 |
54x - 17,280x |
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시야 지름 |
16 μm - 5,120 μm |
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측정 원리 |
광학 시스템 |
반사식 초점 레이저 스캐닝 레이저 현미경 |
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광 수신 컴포넌트 |
레이저: 광전 배율 증폭관(2ch) |
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높이 측정 |
디스플레이 해상도 |
0.5 나노 |
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동적 범위 |
16 비트 |
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반복 가능 n-1 *1 *2 *6 |
20x : 0.03μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm |
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|
정밀도 * 1 * 3 * 6 |
측정값 +/- 1.5% |
||||||
|
조립 이미지 정밀도 * 1 * 4 * 6 |
20x : 15+0.5Lμm, 50x: 9+0.5Lμm, 100x: 7+0.5Lμm(L: 조인트 길이 [μm]) |
||||||
|
측정 노이즈(SQ 노이즈)*1 *5 *6 |
1 나노 |
||||||
|
너비 측정 |
디스플레이 해상도 |
1 나노 |
|||||
|
반복 가능 3 n-1 *1 *6 |
20x : 0.05μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm |
||||||
|
정밀도 * 1 * 3 * 6 |
측정값 +/- 1.5% |
||||||
|
조립 이미지 정밀도 * 1 * 3 * 6 |
20x : 15+0.5Lμm, 50x: 9+0.5Lμm, 100x: 7+0.5Lμm(L: 조인트 길이 [μm]) |
||||||
|
단일 측정 시 측정 점의 zui 대수 |
4096 x 4096픽셀 |
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측정점의 Zui 대수 |
3600 메가픽셀 |
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XY캐리어 설정 |
길이 측정 모듈 |
• |
없음 |
없음 |
• |
없음 |
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작업 범위 |
100 x 100 mm전기 |
100 x 100 mm수동 |
300 x 300 mm전기 |
100 x 100 mm전기 |
100 x 100 mm수동 |
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|
zui큰 샘플 높이 |
100 mm |
30 mm |
30 mm |
210 mm |
140 mm |
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|
레이저 광원 |
파장 |
405 nm |
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zui대수출 |
0.95 mW |
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레이저 분류 |
2 클래스(IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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컬러 라이트 |
백색 LED |
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전기 전력 |
240 W |
240 W |
278 W |
240 W |
240 W |
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품질 |
현미경 본체 |
약 31kg |
약 30킬로그램 |
약 50킬로그램 |
약 43kg |
약 39kg |
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컨트롤러 |
약 12kg |
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