과정 5 과녁 헤드 플라스마 주파수 자기 제어 사출기

코징5 표적 헤드 플라즈마 주파수 자기 제어 사출기

모델:VTC-5RF는

제품 개요:

VTC-5RF는 5표적의 플라즈마 무선주파수 자기제어 사출기로서 고통량 MGI(재료게놈계획) 박막의 연구를 겨냥한다.고체 전해질 소재를 탐색하는 데 특히 적합하며, 5가지 원소를 통해 16가지 다른 비율로 조합된다.

주요 특징:

• 다양한 사출 표적 및 전원 옵션, 자유로운 조합, 구체적으로 우리 회사 판매부에 전화하십시오.
• 사용된 전원 공급 장치(DC 또는 RF)에 따라 금속 또는 비금속 재료를 적재할 수 있습니다.
• 회전 스위치는 순차적으로 사출 헤드를 활성화할 수 있으며 진공 또는 플라즈마 환경에서 진공도에 영향을 주지 않고 자동으로 전환할 수 있습니다.
• 다섯 가지 다른 재료의 표적재를 설치할 수 있으며, 각 표적두는 사출 시간 출력 등의 매개변수를 별도로 설치하여 다른 성분의 박막을 성장시키는 데 사용할 수 있다.
• 여러 개의 무선 주파수 전원을 선택할 수 있으며, 같은 시간에 여러 개의 표적재를 튀길 수 있다.
• 장치 제어 소프트웨어를 선택하여 컴퓨터로 튀는 모든 매개변수를 제어할 수 있습니다.

사출강체：

• 진공강체는 304 스테인리스강으로 제작되었다
• 캐비티 내부 크기: 470mm L × 445mm D × 522mm H(105L)
• 경첩식 캐비티 도어, 직경 Φ380mm, 위에 Φ150mm의 유리 창이 설치되어 있다

사출 헤드&견본대：

• 수냉식 메자닌을 갖춘 1인치 마그네틱 스프링 헤드 5개
• 사출강 안에 전동 베젤이 설치되어 있다.
• 사출 거리: 사출 거리 조정 가능
• 사출 각도: 사출 각도 조정 가능
• 실험할 때, 표적재와 표적재의 구리 패드를 전도성 은펄프로 접착하여 접착해야 한다.(당사에서 전도성 은펄프를 구매할 수 있다.)
• 예비용으로 RF 케이블을 개별적으로 주문 가능
• 장비는 과녁 냉각용 수냉기가 필요합니다.

견본대：

• 직경이 150mm인 견본대는 그 위에 회전대를 덮고 10mm의 구멍이 있으며 매번 하나의 견본이 드러나면 사출을 받아 막을 형성한다.
• 샘플대 크기: Φ150mm, 프로그램 제어를 통해 회전 가능, 16가지 다른 성분의 박막 제작 가능
• 견본대는 가열할 수 있고,zui는최대 600 ℃ 의 높은 온도 (구성에 따라 변동이 있을 수 있으므로 판매부에 문의하십시오.)

진공 시스템：

• KF40 진공 커넥터 장착
• 진공도: 4.0e-5Torr(분자펌프)(참고값, 구체적으로 클릭)
• 당사 에서 각종 진공 펌프 를 선택 구입할 수 있다

흡기：

• 장치에 1/4인치 공기 흡입구를 장착하여 가스병을 쉽게 연결할 수 있다
• 장치 전면 패널에 공기 흐름 조절 손잡이가 장착되어 있어 공기 흐름을 쉽게 조절할 수 있다

표적재：

• 필요한 표적 크기: 지름 25mm,zui는두께 3mm
• 우리 회사에서 각종 표적재를 골라 구매할 수 있다.

코징5 표적 헤드 플라즈마 주파수 자기 제어 사출기

모델:VTC-5RF는

박막 두께 측정기(선택 사항):본 회사에서 필름 두께 측정기를 골라 사출기에 설치할 수 있다

순중량:60kg(펌프 제외)

품질 인증:CE 인증

사용 팁:

• 이 장치는 DIY 장치이므로 매개 변수 변화가 크므로 구매하기 전에 반드시 전화로 자세히 소통하시기 바랍니다
• 더 나은 박막 품질을 얻기 위해서는 고순도 가스가 유입되어야합니다 (권장 > 5N)
• 도금막을 사출하기 전에 사출 헤드, 표적재, 기판과 견본대의 청결을 확보한다
• 박막 과 기저 의 양호한 결합 을 이루려면, 튀기 전 에 기재 표면 을 깨끗이 청소하시오
• 초음파 세척 (자세한 매개 변수는 아래 사진을 클릭): (1) 아세톤 초음파 (2) 이소프로필알코올 초음파 - 유지 제거 (3) 질소 건조 (4) 진공 건조기 수분 제거.
• 플라즈마 세척 (자세한 매개변수는 아래 사진을 클릭): 표면을 거칠게 할 수 있고, 표면 화학 키를 활성화할 수 있으며, 추가 오염물을 제거할 수 있습니다.
• Gr, Ti, Mo, Ta와 같은 얇은 완충층 (5nm 정도) 을 만들어 금속과 합금의 부착력을 개선하는 데 사용할 수 있습니다.

경고：

• 주의: 제품 내부에 고압 부품이 설치되어 있으며, 사사로이 분해하여 설치하는 것을 금지하고, 전기를 가지고 기체를 이동한다.
• 가스통에 감압밸브(설비표준에는 포함되지 않음)를 설치하여 기체의 출력압력이 0.02메가파스칼로 제한되도록 보장해야 한다다음은 안전하게 사용하기 위한 것입니다.
• 사출 헤드가 고전압에 연결되다.보안을 위해 작업자는 장치를 끄기 전에 샘플을 설치하고 표적을 교체해야 합니다.