HORIBA 유량계 AMAT3030-17596

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개요

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제품 정보

여가 시간 3030-17596

Cryo-Plex 16 저온 펌프

전면적인 고효율 설계를 고려하여 Cryo-Plex 10 저온 펌프는 8인치 저온 펌프의 두 배의 흡속을 실현할 수 있어 이상적인 깨끗하고 기름이 없는 고진공 배기 방안이다.

표준 응용: 반도체, 공간 환경 시뮬레이션, 진공 도금 및 각종 연구 개발 분야

유연한 구성

ANSI, ISO, CF 등 다양한 플랜지 인터페이스 지원

M600 헬륨 압축기 한 대를 사용하면 한 대 또는 두 대의 Cryo-Plex10 저온 펌프를 동시에 구동할 수 있어 공간, 전력 및 유지 보수 작업을 절약할 수 있습니다.여러 대의 저온 펌프가 필요한 대형 진공실에는 이상적입니다.

표준 설계

Austin Scientific의 Cryo-Plex 시리즈 저온 펌프, 압축기는 Helix 브랜드의 CryoTorr 시리즈 저온 펌프, 압축기와 서로 호환되고 교체될 수 있어 업그레이드, 수리, 교환 등의 서비스를 크게 편리하게 할 수 있다.

매개변수

Cryo-Plex 10 - 가스 가가스 크크크라이오 플렉스 10 - 리터/초 속도
공기	3,000
물	9,000
수소	5,000
아르곤은	2,500
가스 용량 - 표준 리터 @ 5x10-6 Torr
수소	24
아르곤은	2,000
처리량
아르곤 sccm	1,500
크로스오버
토르 리터	300
냉각 시간
60 헤르츠	최대 트래픽 및 압력 적용 범위 장기적인 안정성으로 장비 사용 가치 보장 위험 지역에 적합하도록 인증된 제품 포함 세척 / 세탁이 가능한 케이스 유체 유형 기체 트래픽 범위 - 전체 용량 3개의 sccm - 2500 lpm 정밀도 SP 의 ± 0.6% 최대 압력 4500 psig의 온도 65oC 출력 유형 아날로그 및 디지털 금속 밀봉열 습도나 산소에 민감한 프로세스 순도 높은 유로는 과정 오염을 최대한 낮추고 생산률을 높일 수 있다. 초고속 응답성 유체 유형 기체 트래픽 범위 - 전체 용량 3개의 sccm - 300개의 slpm 정밀도 SP ±1% 최대 압력 150 psig의 온도 50oC 출력 유형 아날로그 및 디지털 고온열 최대 작동 온도 고정밀 및 반복성 초고순도 구조 유체 유형 가스,수증기 트래픽 범위 - 전체 용량 3개의 sccm - 10개의 slm 정밀도 SP ±1% 최대 압력 145 psig의 온도 105oC 출력 유형 아날로그 및 디지털 코리올리 초저유량 프로세스가 도달할 수 있는 최고 정밀도 내장형 액체 밀도계 액체 및 가스 어플리케이션을 위한 장치 유체 유형 가스,액체 트래픽 범위 - 전체 용량 10 - 27,000 그램/시간 정밀도 비율의 0.2% - 0.5% 최대 압력 4500 psi의 온도 65oC 출력 유형 아날로그 및 디지털 60 분
Cryopump 측정
높이	23.9'
무게 LBS	85
입구 플랜지	ANSI/ISO/CF

분자펌프 수리부는 **의 수입분자펌프, **자기부상분자펌프 수리, 일반분자펌프 수리, Varian 분자펌프, ULVAC 분자펌프 수리, ALVAC 분자펌프 수리, Leybold 분자펌프 수리, EDWARDS 분자펌프 수리, Seiko Seiki 분자펌프 수리, 섬진 분자펌프 수리, Osaka 분자펌프 수리 사영합명기업, 심천 천현 진공기술유한 분자석펌프 수리, Vari펌프 수리 수리,Leybol

HORIBA流量计AMAT3030-17596

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