기체 질량 유량 계대 온압 보상 기능 측정이 더욱 정확하다

기체 질량 유량 계대 온압 보상 기능 측정이 더욱 정확하다기체 유량을 정확하게 측정하는 전문 계량기로 다양한 분야에서 활용되고 있음작용.그 작업 원리는 주로 열식 측정 원리에 기초한다.흔히 볼 수 있는 열식 가스 질량 유량계를 예로 들면, 전형적인 감지 소자는 두 개의 열 저항 중 하나를 속도 센서로 포함하고 있으며, 환경 온도보다 높은 일정한 온도로 가열된다;다른 하나는 미디어 온도를 감지하는 온도 센서입니다.기체가 속도 센서를 통과할 때 일부 열을 가져가 센서의 온도를 낮춘다.온도를 일정하게 유지하기 위해서는 센서를 통한 작업 전류를 증가시켜야 하는데, 증가된 전류의 크기는 기체의 유속에 정비례하여 열 전달량을 측정하여 기체의 질량 유량을 계산한다.이런 방식은 온압 보상 없이 기체의 질량 유량을 직접 도출할 수 있다.

정밀도를 측정할 수 있으며, 정밀도는 일반적으로 ± 1% 의 판독수 또는 그 이상에 도달할 수 있으며, 실험 및 생산 과정에 신뢰할 수 있는 데이터 지원을 제공한다.례를 들면 화학기상침적실험에서 반응기체의 류량에 대한 정확한 통제는 박막생장의 균일성과 성분의 정확성을 확보하였으며 오차는 극히 작은 범위내에서 통제할수 있다.

화학 및 재료 과학 분야에서는 기상 퇴적 실험에 사용하여 반응 가스 유량을 제어하고 박막의 품질을 보장한다;생물 및 의학 연구에서 세포 배양에 필요한 기체를 정확하게 공급하여 세포의 성장 환경을 유지한다;환경과학과 에너지 연구에서는 공기 시료 채취 시 유량 통제, 대기오염물질 모니터링 등에 힘을 보탰다.