EDWARDS 에드워드 분자 펌프 수리 Cryo-Plex16 저온 펌프

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개요

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제품 정보

Cryo-Plex 16 저온 펌프

전면적인 고효율 설계를 고려하여 Cryo-Plex 10 저온 펌프는 8인치 저온 펌프의 두 배의 흡속을 실현할 수 있어 이상적인 깨끗하고 기름이 없는 고진공 배기 방안이다.

표준 응용: 반도체, 공간 환경 시뮬레이션, 진공 도금 및 각종 연구 개발 분야

유연한 구성

ANSI, ISO, CF 등 다양한 플랜지 인터페이스 지원

M600 헬륨 압축기 한 대를 사용하면 한 대 또는 두 대의 Cryo-Plex10 저온 펌프를 동시에 구동할 수 있어 공간, 전력 및 유지 보수 작업을 절약할 수 있습니다.여러 대의 저온 펌프가 필요한 대형 진공실에는 이상적입니다.

표준 설계

Austin Scientific의 Cryo-Plex 시리즈 저온 펌프, 압축기는 Helix 브랜드의 CryoTorr 시리즈 저온 펌프, 압축기와 서로 호환되고 교체될 수 있어 업그레이드, 수리, 교환 등의 서비스를 크게 편리하게 할 수 있다.

매개변수

Cryo-Plex 10 - 가스 가가스 크크크라이오 플렉스 10 - 리터/초 속도
공기	3,000
물	9,000
수소	5,000
아르곤은	2,500
가스 용량 - 표준 리터 @ 5x10-6 Torr
수소	24
아르곤은	2,000
처리량
아르곤 sccm	1,500
크로스오버
토르 리터	300
냉각 시간
60 헤르츠	60 분
Cryopump 측정
높이	23.9'
무게 LBS	85
입구 플랜지	ANSI/ISO/CF

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