반도체 생산 중 미량 불순물 측정의 전형적인 요구

오염을 피하는 요구는 간단하다. 화학기상침적 또는 플라즈마각식 등 관건적인 과정에 사용되는 기체에는 산소나 수분이 존재해서는 안된다.

수분 또는 산소를 위해 선택된 모든 분석기 또는 센서는 ppb까지 낮은 측정 수준(LDL)을 가져야 합니다.저장 후 가스 품질을 검사할 수도 있지만 측정 후 누출 가능성을 줄이기 위해 사용처 근처에서 측정이 필요합니다.

반도체 제조 과정 중 상용하는 산소 제어 기술

일반적으로 지르코늄과 전기 화학 센서는 이러한 응용 프로그램의 미량 산소를 측정하는 데 사용됩니다.

전기 화학 산소 감지 옵션은 전류 / 미립자 또는 헤르츠 배터리입니다.이들 제품은 100ppt의 저검출 하한선(LDL)으로 설치 공간이 작아 각 사용처 근처에 설치가 용이하다는 장점이 있다.이 두 기술은 모두 매우 신뢰할 수 있으며 낮은 ppm 판독에서 높은 ppm 판독에 이르기까지 응답 속도가 매우 빠릅니다.비용 효율적인 전기 화학 분석기는 측정 응용 및 가스에 따라 12 ~ 18 개월 이내에 센서가 소진되어 교체해야합니다.그러나 센서를 교체하는 것은 매우 쉽고 전문적인 지식이 필요하지 않으며 일반적으로 일반적인 계획에 포함됩니다.헤르츠 배터리는 교체할 필요가 없지만 전해액은 몇 주마다 채워야 한다.

많은 고객들에게 제어 설비의 정기적인 검사는 표준적인 품질 일상 안배이며 어떤 설비를 사용하든 적용될 것이다.그러나 일부 사람들은 이것이 유지 보수 비용을 증가시킨다고 생각할 수도 있습니다.

지르코니아 산소 감지 기술의 장점은 낮은 ppm에서 높은 ppm까지, 높은 ppm에서 낮은 ppm까지, 그리고 센서가 비소모적이라는 변화 조건에 대한 빠른 응답이다.전기화학 센서와 달리 공기 중에 노출되면 지르코늄 센서가 소모되지 않는다.

주요 단점은 상대적으로 높은 검출 하한선 (약 0.01ppm O2) 으로 인해 일부 응용 프로그램에 적합하지 않다는 것입니다.센서의 온도가 너무 높기 때문에 어떤 탄화수소도 센서의 산소와 반응하여 잘못된 저독수를 준다.

반도체 제조 과정 중 자주 사용하는 습도 제어 기술

반도체 제조에서 미량의 수분을 측정하는 기술은 일반적으로 세 가지가 있습니다.

광강쇠퇴스펙트럼(CRDS)은 광학센서기술을 채용하였기에 정확하고 안정적이며 빠른 측정을 제공할수 있다.측정된 가스에 따라 기기의 측정 하한선은 0.1ppb로 내려갔다.비용이 상대적으로 높기 때문에 주로 중심 분포점에서 사용됩니다.오염이 발생하면 유지 보수 작업이 매우 복잡하고 비용이 많이 들 수 있습니다.

쿼츠 마이크로 밸런스 (QCM).CRDS만큼 빠르지는 않지만 이러한 분석기는 0.05 ppmV의 최소 측정 한계를 가지고 있으며 신뢰할 수있는 장기 측정 및 자동 교정 기능을 제공합니다.광학 기술에 비해 상당한 비용 이점이 있는 분석기의 케이스 크기 때문에 이러한 분석기는 일반적으로 가스 분배처와 같은 중심 위치에 설치됩니다.많은 모델은 수명 비용과 긴 서비스 기간을 제공합니다.

세라믹 임피던스 이슬점 변송기.높은 성비 비율로 다른 기술 비용의 작은 부분입니다. 센서는 1ppbV로 낮게 측정할 수 있고 사용처에 작고 쉽게 설치할 수 있습니다.측정 결과의 일관성을 보장하려면 매년 한 번씩 재조정이 필요합니다.그러나 이것은 사용자가 수행할 수도 있고 시스템의 다른 일반 유지 보수와 결합할 수도 있습니다.사용자가 제조업체의 센서 교체 프로그램에 참여할 때 그나 그녀의 센서는 평생 무상수리를 효과적으로 받을 수 있습니다.

샘플링의 중요성

산소든 수분이든 정확한 샘플링 결정은 센서 기술뿐만 아니라 측정의 속도와 정밀도가 시스템의 모든 부분에 의존하기 때문에 정확한 분석기를 선택하는 것과 마찬가지로 중요합니다.샘플링 튜브의 유형은 낮은 레벨 측정을 위해 적합한 부품을 선택하는 것이 중요합니다.이상적인 경우 고완전성 부품을 갖춘 전기 광택 스테인리스 강관을 사용해야 한다.

수분 또는 산소 측정 시스템을 구입하려면 초기 의사 결정 단계에서 샘플링을 고려하고 가능한 한 전문가의 조언을 들어야 합니다.분석기와 샘플링 시스템의 정확한 조합만이 좋은 결과를 제공하여 조기 손상을 방지하고 측정 결과의 신뢰성과 일관성을 보장할 수 있습니다.

요약

우리는 이 짧은 글이 현재 시장에서 반도체 제조에 사용되는 많은 미량 수분과 산소의 정확한 측정을 위한 선택에 대한 견해를 제공하기를 바랍니다.

시장에서 널리 사용되는 기술, 분석기 및 브랜드는 사용자에게 성능과 예산 측면에서 적합한 애플리케이션을 선택할 수 있는 기회를 제공합니다.그러나 결정을 내리기 전에 전문가의 의견을 구하는 것은 항상 좋은 생각이다. 특히 여러 매개변수를 측정하는 시스템의 경우 기술과 샘플링 어셈블리의 호환성을 확보해야 한다.