탐침 아래 미시 세계를 정확하게 나타내다

미드맵 기기 NS 시리즈코팅 계단막 두께계초정밀 접촉식 미시적 윤곽 측정 기기로, 그 정밀한 XY 플랫폼은 360 ° 연속 회전 전동 회전대와 결합하여 샘플의 위치 및 각도를 조절할 수 있으며, 3차원 위치를 모두 조절할 수 있어 샘플 조정에 유리하다.주로 계단의 높이, 막층의 두께, 표면의 거친 정도 등 미시적인 형태 파라미터의 측정에 사용된다.

NS 시리즈코팅 계단막 두께계선형 가변 차동 커패시터 센서 LVDC를 채용하여 초미세력 조절 능력과 아에급 해상도를 갖추었으며, 동시에 초저소음 신호 수집, 초정밀 운동 제어, 측정 알고리즘 등 핵심 기술을 통합하여 기기가 초고의 측정 정밀도와 측정 중복성을 갖추도록 하였다.

제품 특성

1.뛰어난 반복성과 재현성으로 피측부품의 측정정밀도 요구를 만족시킨다

선형 가변 차동 커패시터 센서 (LVDC) 는 아에급 해상도를 가지고 있으며 13um 범위에서 0.01에이에 달한다.높은 신호 잡음비와 낮은 선형 오차로 인해 제품은 몇 나노미터에서 몇 백 마이크로미터 계단의 형태 특징을 스캔할 수 있다.

2.초미세 항력 센서:(1-50)mg 조절 가능

경질이나 연질 재료의 표면에 맞게 측정력을 일정하게 조절할 수 있다.초저관성 설계와 미세 전자기력 제어로 접촉 손상이 없는 정확한 접촉식 측정을 실현한다.

3.하이퍼플랫 스캔 플랫폼

시스템은 초고직선도 레일을 장착하여 운동 중의 미세한 떨림을 차단하고 스캐닝 정밀도를 높여 공작물의 미세한 형상을 진실하게 반영한다.

4.상단 옵티컬 탐색 시스템, 5MP 초고해상도 컬러 카메라

5.전자동 XY 탑재대, Z축 자동 승강, 360 ° 전자동 × 회전대

6. 강력한 데이터 수집 및 분석 시스템

스텝다운 소프트웨어에는 다양한 피측 부품에 대한 높이 측정 및 분석 평가를 지원하기 위해 여러 모듈이 포함되어 있습니다.

제품 기능

1. 매개변수 측정 기능

1) 계단 높이: 나노미터에서 330 μm 또는 1050 μm의 계단 높이를 측정할 수 있으며 식각, 사출,SIMS、퇴적, 스핀오프, CMP 등의 프로세스 중에 퇴적되거나 제거된 재료입니다.

2) 조잡도 및 파문도: 시료의 조잡도와 파문도를 측정할 수 있으며, 분석 소프트웨어는 스캔된 미시적 윤곽곡선을 계산하여 조잡도와 파문도와 관련된 Ra, RMS, Rv, Rp, Rz 등 수십 가지 매개변수를 얻을 수 있다.

3) 응력 측정: 다양한 재료의 표면 응력을 측정할 수 있습니다.

2. 측정 모드 및 분석 기능

1) 단일 영역 측정 모드: Focus를 완료한 후 이미지 탐색 맵에 따라 스캔 시작점과 스캔 길이를 설정하여 측정을 시작합니다.

2) 다중 영역 측정 모드: Focus를 완료한 후 이미지 내비게이션에 따라 단일 영역 스캔 경로 설정을 완료하면 가로 및 세로 거리에 따라 몇 ~ 수백 개의 스캔 경로로 구성된 다중 영역 측정 모드를 패턴화할 수 있으며, 클릭 한 번으로 모든 스캔 경로의 자동 측정을 완료할 수 있습니다.

3) 3D 측정 모드: Focus를 완료한 후 이미지 내비게이션에 따라 단일 영역 스캔 경로 설정을 완료하고 필요한 스캔 영역의 너비 또는 스캔 선의 간격 및 수에 따라 전체 스캔 영역 설정을 완료할 수 있습니다. 클릭 한 번으로 전체 스캔 영역 스캔 및 3D 이미지 재구성이 자동으로 완료됩니다.

4) SPC 통계 분석: 다양한 종류의 피측정 부품에 대한 다양한 지표 매개변수 분석을 지원하며, 대량 샘플의 측정 데이터에 대한 SPC 차트를 제공하여 데이터의 변화 추세를 집계합니다.

3. 듀얼 내비게이션 광학 영상 기능

NS200-D 모델에는 직시 또는 사시 500W 픽셀의 컬러 카메라가 장착되어 직시 내비게이션 영상 시스템에서는 스캔 경로를 정확하게 설정할 수 있으며, 사시 내비게이션 영상 시스템에서는 스캔 궤적을 실시간으로 따라갈 수 있다.

4. 빠른 바늘 교환 기능

마그네틱 흡입식 측정 바늘을 사용하여 바늘 교환 작업을 수행해야 할 때 현장에서 스캔 측정 바늘을 빠르게 교체할 수 있으며, 소프트웨어의 측정 모듈에 따라 빠르게 측정하여 바늘 교환 후의 정밀도와 중복성을 확보하고 유지 보수 고민을 줄일 수 있다.

마그네틱 핀 실물 외관도(330μm 측정)

일반적인 어플리케이션

일부 기술 지표

주의: 시장 발전과 제품 개발의 수요로 인해 본 제품 자료의 관련 내용은 실제 상황에 따라 수시로 갱신되거나 수정될 수 있습니다. 별도로 통지하지 않을 수 있습니다. 불편한 점은 양해해 주십시오.