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마이크로전자 제조, 광각 기술, 항공 우주 등 산업 분야에서 정밀도는 제품의 성패를 결정하는 핵심 관건이다.밀리미터 이하의 정밀도 편차는 종종 전체 제품의 폐기, 장비 가동 중지 또는 프로젝트 연기를 의미합니다.
스틸 밴드 자 또는 유리 래스터와 같은 전통적인 위치 피드백 장치는 재료의 열 팽창, 설치 오차 및 환경 간섭에 국한되어 안정성, 해상도 및 간섭 방지 능력에 대한 현재의 초정밀 가공의 높은 요구를 충족시키기 어렵습니다.
첫째, 측정정밀도가 나노급 가공수요를 만족시키지 못하여 제품의 량률이 급락하였다.
둘째, 측정 설비와 생산 환경의 적합성이 떨어지고, 호스트의 발열, 설치 공간 제한이 측정 안정성에 영향을 미친다;
셋째, 다자유도측정장면에서 전통설비는 효률과 정밀도를 고루 돌보기 어려우며 생산리듬을 늦춘다.
이것들은 기술적인 문제일 뿐만 아니라 양품률, 생산성, 설비의 신뢰성에 영향을 주는 체계적인 도전이며, 광섬유 레이저 자는 바로 이러한 업계의 문제점을 해결하기 위해 생겨난 고정밀 측정 솔루션이다.
PLR3000 광섬유 레이저 자는 레이저 간섭 원리에 기초하여 헬륨 레이저를 편향 광섬유를 통해 간섭 프로브로 전송하며, 안정 주파수 정밀도는 최고 0.02ppm에 달한다. 이는 1미터의 측정 거리에서 주파수 파동 오차가 0.02마이크로미터에 불과하여 전통적인 측정 도구보다 훨씬 우수하다는 것을 의미한다.비접촉, 고해상도, 다중 채널의 위치 피드백을 실현했다.동시에 선형 측정 정밀도는 0.2~0.5ppm에 달하며, 0.2ppm의 PLR3200 PRO 모델의 경우 4미터 스레드를 측정할 때 최대 오차가 0.8마이크로미터에 불과하여 칩 광각에서 웨이퍼 포지셔닝에 대한 나노미터급 정밀도 요구를 만족시킨다.
더욱 관건적인것은 설비가 레이자발사장치와 간섭프로브의 분리설계를 채용하여 3메터의 갑옷광섬유련결을 통해 본체를 생산선의 열원에서 멀리 떨어트리고 온도변화가 측정통로에 대한 교란을 피면할수 있을뿐만아니라 좁은 설치공간에 령활하게 적응하고 아베의 오차를 낮출수 있어"정밀도와 환경의 적합"의 량난문제를 해결했다.





그러나 핵심 가치는 측정이 아니라 안정적이고 신뢰할 수 있는 위치 기준 시스템을 구축하는 데 있다.
1. 0.02ppm 안정 주파수 정밀도: 주파수 표류를 원천적으로 차단하고 장기적인 안정성을 확보한다;
2, 10nm 해상도: 마이크로미터급 심지어 마이크로미터급 운동 제어를 지원합니다.
3. 멀티프로브 배치: 각추 프리즘, 평면경, 차분 간섭 등 다양한 광학 구조를 지원하여 반사경, 선형 축, 회전대 등 서로 다른 장면에 적응한다;
4. 환경보상단위: 온도습도, 기압을 실시간으로 감지하고 공기굴절률의 영향을 자동적으로 수정하여 측정수치가 진실하고 믿음직하도록 보장한다.
5. 본체와 프로브 분리 설계: 갑옷 광섬유 연결을 통해 레이저를 열원과 진동원에서 멀리 떨어뜨려 시스템 간섭을 줄일 수 있다.
3축 동시 출력, 차분 간섭기와 함께 작업대의 나노급 폐쇄 루프 제어를 실현할 수 있으며, 세트 각도 정밀도와 설비 처리량을 향상시킬 수 있다.
평면 거울 간섭기를 설치하여 헤드 위치를 실시간으로 피드백하고 환경 보상 기능을 결합하여 작업장의 온도 파동이 큰 환경에서도 ±0.5ppm의 선형 정밀도를 유지할 수 있다.
대형 부재 가공 시 장거리와 다자유도 측정을 겸비해야 하며, 각추 프리즘 간섭 프로브 (최대 양정 4m, 최대 속도 2m/s) 를 선택하여 일체화 환경 보상 단위와 배합하여 온도, 기압, 습도를 자동으로 모니터링하고 레이저 굴절률을 실시간으로 수정할 수 있으며, 현장 환경 파동 하에서도 측정 정확성을 보장할 수 있다
인더스트리 4.0과 스마트 제조가 심도 있게 추진됨에 따라 측정 기술도 동시에 업그레이드되어야 한다.광섬유 레이저 자는 현재 나노급 측정 수요를 만족시킬 수 있을 뿐만 아니라 확장성도 갖추고 있다-PLR3000 측정은 4m를 돌파할 수 있고, 해상도는 외부 확장을 통해 한층 더 향상시킬 수 있으며, 미래의 더 높은 정밀도의 제조 장면을 위해 공간을 확보할 수 있다.이와 동시에 그 다통로수출과 맞춤화프로브설계는 자동화생산라인과 깊이있게 융합되여 기업이"측정-피드백-조정"의 페환통제를 실현하고 제조과정이 지능화에로 전환되도록 추동할수 있다.정밀도 병목 현상에 직면 한 제조업체의 경우 적절한 측정 도구를 선택하는 것이 발전을 돌파하는 중요한 단계입니다.