레이저 간섭 측정 기술은 민감도가 높고 양정이 크며 열악한 환경에 적응할 수 있다는 장점을 가지고 있으며 광파는 쌀을 직접 정의할 수 있고 근원을 추적하기 쉽다.중도 기기가 자체 개발한 PLR3000 시리즈 광섬유 레이저 자는 레이저 간섭 측정 원리에 기초하여 고정밀도, 고감도, 고효율 빠른 선진 위치 검측 설비로 비접촉 고정밀도 측정 분야에서 우세를 가지고 있으며, 전통적인 강철 벨트 자 또는 유리 울타리에 비해 더욱 정확한 울타리 거리와 더 높은 해상도를 가지고 있으며, 동시에 그 열원 격리 설계는 더욱 높은 안정성을 보장하며, 동시에 설치가 빠르고 항공 정밀 가공, 미세 전자, 초정밀 가공 등 첨단 기술 및 첨단 기술 응용, 초정밀 및 현대 전자 가공 분야에서 광범위한 특징을 가지고 있다.

광섬유 레이저 자 구성

광섬유 레이저 자는 레이저 발사 장치, 간섭 측정 프로브, 반사경 등의 부분으로 구성된다.

1. 레이저 발사 장치

레이저 발사 장치에는 고안정도 헬륨 네온 레이저 광원이 내장되어 있으며, 안정 주파수 정밀도는 0.05ppm(0.02ppm 옵션)이다.갑옷 광섬유를 통해 레이저를 간섭 측정 프로브로 전도하여 열원과 측정 프로브의 격리를 실현한다.레이저 송신 장치에는 고정밀 신호 처리 시스템이 내장돼 있어 사용자가 해상도를 구성할 수 있는 실시간 RS422 디지털 직교 신호와 직교 아날로그 신호를 직접 출력할 수 있으며 USB-SDK를 통한 2차 개발도 가능하다.

2. 간섭 측정 프로브

2.1. 차분간섭(DI) 프로브

차분간섭프로브는 두묶음의 레이저 (참고광과 측정광) 를 출력하여 각각 고정평면반사경과 이동평면반사경을 거쳐 반사되여 광학의 4배주파수를 실현하여 더욱 높은 시스템해상도와 더욱 작은 비선형오차를 갖고있다.특히 Z축 기둥과 운동 플랫폼 사이의 상대적인 운동을 측정하는 데 적합하며, 내벽 열 표류와 기둥 진동/이동으로 인한 오차를 제거하는 나노급 정밀도 방안의 선택이다.

2.2 평면 렌즈 간섭(PI) 프로브

평면경 간섭 프로브는 이중 광거리 간섭 시스템을 채택하고 평면 반사경과 배합하여 광학 4배 주파수를 실현하며 더욱 높은 시스템 해상도를 가지고 있으며 2축 시스템을 사용하고 긴 평면 반사경을 배합하여 XY 플랫폼의 운동 제어 및 측정 응용에 특히 적합하다.0 °, 90 ° 의 두 가지 옵티컬 구성을 제공합니다.

2.3 각추 프리즘 간섭(RI) 프로브

각추 프리즘 간섭 프로브, 설치가 편리하고 정밀도가 높으며 단축 선형 측정 또는 위치 피드백에 적용되며 측정 거리가 10미터에 달하고 40미터를 사용자 정의할 수 있으며 운동 위치와 설비 교정에 광범위하게 응용된다.0 °, 90 ° 의 두 가지 옵티컬 구성을 제공합니다.

광섬유 레이저 자 기술 특색

1. 고정밀 측정: 선형 측정 정밀도는 0.5ppm에 달한다.

2.높은 레이저 안정 주파수 정밀도: 레이저 주파수 안정도 0.05ppm(0.02ppm 옵션)

3.고해상도: 고유해상도는 최고 10nm에 달하며 부동한 해상도를 배치할수 있어 세분화를 한층 더 확대하여 더욱 높은 해상도를 실현할수 있다.

4.고속 측정: 최대 측정 속도는 2000mm/s 이상입니다.

5.측정 길이: 측정 측정 측정은 4m 이상에 도달 할 수 있으며 40 미터를 사용자 정의 할 수 있습니다.

6.설치가 간편하고 정확하기 쉽다: 부피가 작고 설치가 유연하여 아베의 오차를 대폭 낮출 수 있다;간섭 프로브는 각도 조절 장치를 배치하여 광속의 정직을 쉽게 실현한다;

7.측정 광로 열원 격리: 레이저 발사 장치와 측정 프로브가 분리되어 있고, 프로브에 열원이 없어 본체의 열 방출이 측정 통로에 미치는 영향을 피할 수 있다;

8.다중 채널 출력: 최대 3방향 프로브를 동시에 연결하여 여러 축의 동시 측정 및 다자유도 측정을 쉽게 실현할 수 있습니다.

9. 출력 인터페이스의 다양성: 호스트 출력 인터페이스는 USB 인터페이스와 위치 출력 인터페이스를 포함하고 위치 출력 인터페이스는 차분 TTL(RS-422/EIA-422), 양여현 신호(SinCos1Vpp), USB-SDK가 있다.

광섬유 레이저 자 응용 검증

PLR3000 시리즈 광섬유 레이저 자는 이미 여러 클라이언트에서 정밀도 검증을 진행했다: 차분 간섭 (DI) 프로브로 고정밀 나노 변위대를 폐쇄 루프 제어하여 10mm 여정 내 임의의 위치에서 나노급 위치 제어 정밀도를 실현한다.