진공계 오염의 원인

주로 다음과 같은 점이 있습니다.

1. 공정과정요소

1.진공 시스템의 잔여 가스: 만약 진공 시스템이 사용하기 전에 충분히 청결하고 진공을 뽑지 않는다면, 잔류 가스에는 유증기, 수증기, 먼지 등 각종 불순물이 함유되어 있을 수 있다.이런 불순물은 일정한 조건하에서 진공계에 퇴적되어 오염을 초래할 수 있다.

2. 공정 기체의 반확산: 일부 진공 공정에서 사용하는 공정 기체는 압력차의 작용으로 진공계가 있는 구역으로 반확산될 수 있다.만약 공정기체에 쉽게 응결되거나 쉽게 흡착되는 성분이 함유되여있다면 진공계를 오염시킬수 있다.예를 들어, 불소 가스를 사용하는 공정에서 불소화물은 진공계 표면에 퇴적될 수 있습니다.

2. 설비 유지 보수 요소

1.밀봉 불량: 진공계와 진공 시스템의 연결 부위의 밀봉이 불량하면 외부의 공기와 불순물이 시스템에 들어가 진공계를 오염시킬 수 있습니다.예를 들어, 밀봉 개스킷이 노후화되거나 파손되거나 잘못 설치되면 밀봉이 무력화될 수 있습니다.

2. 잘못된 유지보수: 진공 시스템을 유지 보수하고 점검할 때 잘못 조작하면 오염물이 도입될 수도 있다.예를 들어 진공계를 교체하거나 수리할 때 먼지, 유지 등 불순물이 시스템에 들어가도록 적절한 방호 조치를 취하지 않았다.

3. 환경 요소

1.공기 중의 먼지와 불순물: 진공 시스템이 밀봉된 상태라도 미세한 누출 통로를 통해 외부 환경과 통할 수 있다.공기 중의 먼지, 수증기 및 기타 불순물이 점차 시스템에 침투하여 진공계를 오염시킬 수 있다.

2.온도 및 습도 변화: 온도와 습도의 변화는 진공 시스템의 재료가 가스를 방출하거나 수분을 흡착하여 시스템의 불순물 함량을 증가시키고 진공 시스템을 오염시킬 수 있습니다.예를 들어, 온도 변화가 큰 환경에서 일부 재료는 열팽창과 냉축이 발생하여 밀봉을 파괴하고 외부의 불순물을 끌어들일 수 있다.