직사각형 전송 밸브 제품 소개

일양과학기술 진공 직사각형 밸브는 일양이 자주적으로 설계하고 생산 제조한 진공 시스템 밀봉 부품으로서 zhuoyue의 조작 성능, 높은 내구성, 낮은 진동과 높은 청정도 등의 장점을 가지고 있다.

사양 매개 변수:

밸브는 공기압 구동 모드를 채택하여 열림/닫는 가장 빠른 시간이 1s를 초과하지 않으며, 밸브 개구부 사이즈는 고객의 요구에 따라 맞춤형으로 제작할 수 있다.밸브가 열렸을 때 압력차치는 10mbar보다 작고 밸브 내부축밀봉은 파문관을 사용하며 밸브재료는 스테인리스강이나 알루미니움합금재질을 선택할수 있으며 표면은 전해포광 또는 경질양극산화처리를 할수 있다.

장면을 적용하려면 다음과 같이 하십시오.직사각형 전송 밸브는 반도체나 태양광 업계에 광범위하게 응용된다도금 시스템, 일반적으로 lock-load 챔버와 전송 챔버 사이, 공정 챔버와 전송 챔버 사이에 설치되며 재료의 전송 창입니다.lock-load 챔버와 외부 대기 사이에는 일반적으로 직사각형 밸브를 사용하지만, 연결진공 펌프및 공예 캐비티에서 배기에 사용되는 밸브는 시계추 밸브를 사용할 수 있습니다.

설계 원칙: 이 직사각형 밸브의 모든 이동 부품은 대기 측면에 위치하여 진공 측면에서 미세먼지 입자의 발생을 줄일 수 있습니다.밸브 밀봉문은 빠르게 분해할 수 있어 교체하기 편리하다O-링밀봉 코일.기압이 손실될 때 밸브 밑부분의 역정지 밸브는 밸브판 밀봉부품이 자동으로 잠겨 누출을 방지할 수 있다.

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