초고진공 전금속 플러그 밸브

HTC 일양 테크놀로지가 설계한 전체 금속 플러그 밸브는 초고진공 환경 (10⁻⁸Pa~10⁻⁹Pa) 에 적합하며, HTC Disc 금속 밀봉 기술을 사용하며, 그 압력 범위는 일반적으로 UHV~1.2bar (abs) 이며, 누출률 zui di는 할 수 있다<1×10⁻¹⁰ mbar・L/s의 신뢰할 수 있는 밀봉.개방 방식에 따라 수동/공기식 및 유무로 나뉜다보호무선 주파수 차폐기능, 내온 150 ℃ ~250 ℃ 를 실현할 수 있다.최근 몇 년 동안 국내의대과학 장치 연구、표면 분석화반도체 제조 프로젝트중, 이미 많은 성공적인 시험 조립 사례가 있으며, 그 zhuo yue의 신뢰성은 시장에서 검증되었다.

전금속플러그 밸브고에너지 물리 실험실 프로젝트에 많이 사용되기 때문에 무선 주파수 신호의 누출/침입을 차단하고 입자 빔 전송의 안정을 보장하는 수요가 있기 때문에 플러그 밸브는 무선 주파수 차단 기능을 갖추어야 한다.이밖에 저루출률, 고온내성, 고청정도, 복사방지, 고수명 및 안정과 믿음성은 전금속플러그판밸브의 우수성을 가늠하는 중요한 표준으로서 이 면에서 일양은 고객과 협력하여 CF35, CF63, DF78 등 모델의 전금속플러그판밸브를 성공적으로 연구제작하여 기술돌파를 실현한 몇안되는 국산제조업체로 되였다.

2020년, 일양은 SHINE 프로젝트와 합작하여 국내에서하드 엑스선 자유 전자 레이저 장치프로젝트에서 shou ci는 전체 금속 플러그 밸브의 금속과 금속 사이의 하드 밀봉, 고정밀 위치 등 핵심 기술 난제를 해결하고 시제품이 성공적으로 인도되었으며, 이 전체 금속 고주파 차폐 밸브는초전도 가속기전자빔 유통로에서는 초고진공, 초청정, 액체 헬륨 저온, 무선 주파수장 및 이온 복사의 복잡한 환경 조건에서 작동한다.

그후 수년간 일양과학기술은 잇달아 CF35, CF63 등 치수밸브에서 돌파를 가져왔다.고객의 부동한 실제환경수요에 근거하여 기타 사이즈도 개발중에 있으며 지속적으로 성능을 제고하고 데터를 최적화하여 진정으로 국산대체를 실현하고 국내의 대과학장치연구에 힘을 이바지하고있다.