반도체, 광전자 및 마이크로나노 제조 등 고정밀 가공 업계에서 웨이퍼의 도교, 현상, 세척 등 핵심 공정은 ISO Class1급 고도로 통제된 청정 환경에서 전송과 처리를 완료해야 한다. 이 과정에서 어떠한 미세한 기류 교란 (예를 들어 국부 와류, 풍속 돌연변이) 이나 풍속 이상 (너무 높거나 낮음) 도 심각한 문제를 일으킬 수 있다. 풍속이 너무 낮으면 청정 지역의 오염물이 제때에 제거되지 않아 웨이퍼 오염 위험이 증가한다.풍속이 너무 높으면 웨이퍼 표면의 포토레지스트 코팅층을 쉽게 불어 도안의 변형이나 결함을 초래한다;기류 교란은 또한 웨이퍼 기계의 전송 정밀도를 방해할 수 있으며, 심지어 설비의 정체 고장을 일으킬 수 있는데, 이러한 문제는 최종적으로 제품의 양률 (양률이 10% 이상 하락할 수 있음) 과 공정 안정성에 직접적인 영향을 줄 수 있다.



그러므로 설비강체내부에서 정확하고 중복가능하며 실시간적인 풍속감측을 전개하는것은 공예의 일치성을 보장하고 설비성능의 표준도달여부를 검증하며 잠재적위험을 조사하는 핵심수단의 하나로 되였으며 환경측정기 6531은 바로 이 핵심수요를 만족시키는 관건적인 설비이다.
테스트 프로세스
웨이퍼 전송 채널 내의 공기 흐름이 공정 요구 사항에 부합하는지 확인하기 위해 고정밀 다중 매개변수 환경 테스터 6531을 사용하여 다음 핵심 매개변수를 동기화합니다.
환경 조건:
테스트는 항온 항압, ISOClass 1등급 청정 환경에서 진행해야 외부 미립자 간섭 검사를 피할 수 있으며 테스트 전에 시스템 자정과 균형을 완성해야 한다.



풍속 범위:
도교/현상류 설비(도교기, 현상기, 스프레이)
이러한 설비는 가공 과정 중에 포토레지스트 코팅, 현상액 스프레이 등 정밀 조작을 완료해야 하며, 포토레지스트 코팅의 두께는 보통 마이크로미터급으로 계량되며, 기류 속도가 너무 빠르면 코팅 표면에 파문, 가장자리 퇴적 등 결함이 발생할 수 있으며, 너무 느리면 코팅/현상 과정 중 휘발하는 용제 증기를 제때에 가져갈 수 없어 웨이퍼 오염을 초래하기 쉽다.그러므로 풍속은 0.3-1.0m/s로 엄격히 통제해야 하며 기류가 강체 횡단면 내에 고르게 분포되도록 보장해야 한다.
세척류 설비 (테이프 제거기, 단일 세척기)
세척 시 화학 시약(황산, 불산 등)이나 고압 분사로 접착제, 불순물을 제거해야 하며, 그 과정에서 화학 증기와 미립자 부스러기가 발생한다.풍속이 부족하면 오염물이 쉽게 부착되여 세척이 철저하지 못하다. 풍속이 너무 높으면 분사물줄기를 어지럽히거나 잔류시약이 재빨리 휘발되여 결정오염을 형성하게 된다.그러므로 풍속은 1.0~1.5m/s로 설정되여 오염물을 고효률적으로 제거할수 있을뿐만아니라 강체기류의 안정을 유지할수 있으며 세척공예를 교란하지 않는다.
온습도：
온도가 너무 높으면 포토레지스트의 점도가 떨어지고 용제의 휘발이 빨라 코팅의 균일성에 영향을 준다.너무 낮으면 세척 시약의 활성을 떨어뜨려 세척 효과가 떨어진다.습도가 너무 높으면 설비의 금속이 녹슬고 전기단락되기 쉬우며 너무 낮으면 정전기가 발생하여 미립자 오염 웨이퍼를 흡착한다.따라서 온도는 25도, 습도는 50% RH 정도로 조절해야 한다.
압차：
내압이 너무 낮으면 외부에 먼지가 함유된 공기가 오염에 스며들 수 있다;너무 높으면 캐비티 밀봉 부품의 변형, 기류 이상을 초래하여 설비의 운행에 영향을 줄 수 있다.서로 다른 설비의 압차 요구가 다르다: 고무칠기, 현상기는 밀봉성이 강하고 기류를 안정시켜야 하며 압차는 보통 5~50Pa이다. 고무제거기, 단편세척기는 휘발성 가스 배출을 가속화해야 하며 압차는 50~200Pa이다. 전체 압차 범위는 1-200Pa(설비 유형에 따라 정한다).
테스트 방법：
1. 격자 포점법 채택: ISO 14644-3 표준을 참고하여 FFU 출풍면을 최소 3 × 3 또는 4 × 4의 등면적 격자로 구분한다;그리드 중심은 샘플링 지점이며 동시에 고효율 필터 배출구 아래, 캐비티 구석, 웨이퍼 전송 경로 위 등 핵심 영역을 포함한다.단면의 평균 풍속을 측정하여 요구에 부합되는지 판단한다.



2. 6531 프로브를 조정하여 바람이 오는 방향을 맞추고, 측정 지점은 FFU 출풍면에서 15~30cm (설비 기계 내 상황에 따라 조정할 수 있다).
3. 6531 프로브를 각 그리드 중심점 위치로 조정하고, 매번 측정 시간은 ≥ 10초, 여러 번 측정하고, 풍속 데이터의 평균치를 취하여 기록하는 것을 권장한다.
4. 테스트를 마치고 수집한 데이터 기록을 계산 분석한다.
주의: 테스트 시 설비는 양호한 밀봉성을 유지해야 하며, 테스트 과정 중 챔버 밀봉 불량으로 인해 FFU에서 바람이 나오는 기류의 크기와 흐름이 변하여 테스트 결과의 신뢰성에 영향을 주지 않도록 해야 한다.



테스트 효과:
실측이 보여준데 따르면 환경측정기 6531은 청정강체의 기류안정성을 정확하게 검증할수 있으며 고청정공정환절의 웨이퍼전송안전과 공정일치성을 효과적으로 보장할수 있다.이와 동시에 그 다중매개 변수의 동시감시측정과 장기적인 데터축적은 설비의 디버깅, 검수 및 유지보수에 믿음직한 의거를 제공하여 생산라인의 량률과 운행효률을 뚜렷이 제고시켰다.
계기 성능 및 응용
지능형 환경 측정기 65Ser, 풍속, 풍량, 온도, 습도, 압력 동시 테스트, 파이프 단면의 모양과 크기를 입력하여 풍량을 계산할 수 있으며, 테스트 데이터 유지 기능, 통계 계산 (평균, 최대, 최소), 데이터 최대 20000개 저장, 8가지 프로브 선택 가능, 프로브 교환 호환.



KANOMAX 환경 테스터 65Ser는 환기 테스트, 실험실 제어, 클린룸 검사, IAQ 평가, 산업 위생, 품질 제어 등에 널리 사용되며 공정 안전과 제품 품질을 보장합니다.