2025년 9월 4일, 주목받는 제13회 반도체설비재료와 핵심부품전시회가 무석 태호국제박람센터에서 성대하게 개최되였다.이번 반도체설비년례회의는"중국심지를 강화하고 심세계를 포옹하자"는 주제로 반도체설비제조업체, 센서제조기업 및 산업사슬의 상하류기업, 과학연구원의 전문가와 학자들을 모아 최신 과학연구성과와 실제응용사례를 공유하고 어떻게 기술혁신을 통해 산업승격을 부여할것인가를 공동으로 토론했다.



카노맥스는 먼지입자계수기, 열식풍속계, 풍속변송기, 미차압계 등 측정기기를 들고 B3-328 부스에 모습을 드러냈다.









부스 앞에 인파가 몰리자 반도체 소재 기업의 연구개발 인원, Fab 공장의 기술 책임자들이 잇달아 발걸음을 멈추고 자문했다. 가노 직원들은 인내심을 가지고 세밀하게 기기의 성능 특징, 응용 장면을 소개하고 현장에서 제품 시연을 진행하여 모두가 제품의 뛰어난 성능을 직관적으로 느낄 수 있도록 했다.





입자 카운터는 반도체 제조 환경에서 응용된다
반도체 칩 제조 과정에서 생산 환경에 대한 청정도 요구가 비교적 높으며, 반드시 분진 입자, 공정 편차 등의 요소로 인해 결정 합선이나 차단을 금지하고, 정화 환경에서의 작업 현장의 초미세 입자 수를 통제하여 제품 품질을 보장하고 제품 양률을 높여야 한다.



반도체 칩 생산 과정에서 입자 카운터는 주로 다음과 같은 용도로 사용됩니다.
1.Fab 공장의 제조 공정 검측: 웨이퍼의 광각, 코팅 현상, 각식 등 여러 공정 단계에서 입자 카운터를 사용하여 환경의 먼지 입자를 검측하여 공정의 정확성을 확보한다.
2.포장 과정: 웨이퍼 절단 포장 과정에서 입자 계수기 역시 관건적인 역할을 발휘하여 포장의 품질을 보장한다.
3.반도체 장비 생산 공정의 품질 모니터링: 입자 카운터를 통해 장비 공정 지점을 모니터링하여 생산 과정의 안정성과 제품 품질을 확보합니다.



반도체 칩 제조 환경을 위해 설계된 초소형 먼지 입자 카운터 3950은 0.1μm와 0.3μm의 미세 입자를 정확하게 모니터링할 수 있으며 가볍고 작은 장점을 갖추고 있으며 센서가 생산 설비에 내장되어 작업 현장의 초미세 입자를 실시간으로 모니터링할 수 있어 정화 작업 환경의 청정도 평가에 신뢰할 수 있는 근거를 제공한다.0.1μm급의 정확한 검측기술로"중국심"제조의 모든 미시적환절을 위해 품질방어선을 튼튼히 구축했다.




풍속계가 반도체 제조 환경에서 응용되다
반도체 제조에서 현상, 각식, 절단 등 핵심 공정 단계, 그 환경 풍속 (클린룸 및 설비 내부 국부 풍속) 은 공정 정밀도, 양률 및 제품 신뢰성에 직접적인 영향을 미친다.합리적인 풍속은 안정적인"층류/난류장"을 형성하여 미립자 (예를 들면 포토레지스트 찌꺼기, 부식 부산물, 절단 분진) 를 가져가 웨이퍼 표면에 붙어 결함을 초래하지 않도록 할 수 있다;
동시에 풍속 이상 (높음/낮음/고르지 않음) 은 양률 손실을 직접 유발할 수 있다.예를 들어, 광각 단계의 풍속 파동 5%는 선가중치 편차 0.03 μm (7nm 공정 선가중치 편차 허용치 0.02 μm) 을 초래하여 칩의 무력화를 직접 초래할 수 있습니다.



도교현상설비는 생산환경에 대한 청결도에 대한 요구가 비교적 높으며 특히 광각접착제를 도포하고 현상하는 과정에 미소한 립자의 오염은 광각도안의 결함을 초래하여 칩의 성능에 영향을 줄수 있다.HEPA 또는 ULPA와 같은 송풍기 필터 유닛(FFU) 고효율 필터를 통해 깨끗한 공기를 제공하여 환경의 미세먼지를 효과적으로 제거하고 웨이퍼 표면에 오염이 없도록 함으로써 포토레지스트의 정밀도와 완제품률을 높여야 한다.



KANOMAX 환경 측정기 65Ser는 미세한 풍속 파동이나 국지적인 풍속 차이를 막론하고 청정실 및 장비 내부의 풍속 변화를 정확하게 포착할 수 있으며, 풍속, 온도, 습도, 압력, 입력 파이프 단면의 형상 및 크기를 동시에 측정하여 풍량을 계산할 수 있으며, 8가지 프로브를 선택할 수 있으며 고정밀도, 프로브 교환성, 안정성, 조작성 및 다중 매개변수 측정 디스플레이 등의 특징으로 반도체 제조 장비 업계에서 널리 응용되고 있다.



KANOMAX는 반도체 청정 기술 분야에서 수년간 깊이 연구하여 이미 많은 고객들의 신뢰와 인정을 받았다.회사는 연구개발에 대한 투입을 지속적으로 확대하고 경쟁력을 갖춘 신제품과 신기술을 끊임없이 출시하여 시장의 끊임없는 변화와 고도화 수요를 만족시키고 반도체산업의 발전과 진보를 추진하는데 더욱 큰 기여를 할 것이다.
가노 KANOMAX 부스에 왕림하여 참관하고 교류해 주신 여러분께 감사드리며, 내일 다채롭게 계속되어 반도체 업계 발전의 새로운 여정을 함께 목격합시다!