용량식 액위계는 용량의 변화를 측정하여 액면의 높낮이를 측정한다.그것은 금속봉이 성액용기에 삽입되였는데 금속봉은 전기용량의 극으로서 용기벽은 전기용량의 다른 극으로 되였다.두 전극 사이의 매질은 액체와 그 위의 기체이다.액체의 개전 상수 ε1과 액면의 개전 상수 ε2가 다르기 때문에, 예를 들면 ε1>ε2는 액위가 높아질 때 용량식 액위계 두 전극 사이의 총 개전 상수치가 따라서 커지기 때문에 전기 용량이 커진다.반대로 액위가 떨어지면ε값이 줄어들고 전기용량도 줄어든다.그러므로 용량식 액위계는 두 전극 사이의 전기용량의 변화를 통해 액위의 높낮이를 측정할 수 있다.커패시터 액위계의 민감도는 주로 두 개의 개전 상수의 차이에 달려 있으며, 또한 ε1과 ε2의 고정만이 액위 측정의 정확성을 보장할 수 있으며, 측정된 매체가 전도성을 가지고 있기 때문에 금속봉 전극은 모두 절연층이 덮여 있다.커패시터 액위계는 부피가 작아 원거리 전송과 조절이 용이하며 부식성과 고압을 가진 매체의 액위 측정에 적합하다.