진공 상자식 배교로

질화 알루미늄 세라믹 파우더/기판 소결로

질화규소 세라믹 기판 소결로

기상/액상투규소로

젤라틴(탈탄소) 예열 일체로

탄화규소 기판(파우더) 소결로

CVD 기상 퇴적로

질화붕소 열압 소결로