하얼빈심 내일 압전 스캐너, 압전 물경 위치추적기

코어 내일 드라이브 기구식 압전 스캐너P77 시리즈 압전 스캐너는 1차원 Z축 운동 플랫폼, 압전 플랫폼 중심은 106mm 대통 광공, 압전 세라믹 직구 기구, 내장 고성능 압전 세라믹, Z축 20μm의 변위 여정을 실현할 수 있으며, 무마찰 유연성 가이드 기구는 초고해상도를 가지고 있으며, 폐쇄 루프 버전의 위치 정밀도는 나노급에 달하며, 광학 사진기의 선택이다.

P73.Z500 시리즈 압전물경 위치추적기는 큰 여정 압전물경 위치추적기로서 Z축의 직선운동범위는 550μm에 달하며 유연성경첩설계기구를 채용하여 마찰이 없고 운동직선성이 좋으며 페환모델의 위치확정정밀도가 높다.분리식 나사 어댑터 디자인은 다양한 모델의 현미경에 적합하며 넓은 범위의 현미경 영상, 이중 광자 현미경 등 분야에 널리 응용된다.